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纳米压印Nanonex高分辨率光刻/对准器
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经销商上海迹亚商贸有限公司(Gaia China Co.,Ltd.)是新加坡迹亚集团(Gaia One International Pte. Ltd.)位于中国的子公司。旗下的公司分布于新加坡,马来西亚,印尼和缅甸。我们的工作团队经验丰富,技术力量强大,为大学,科研机构和工业企业提供实验设备和工程设备,具备引导潮流的实力。我们提供的*技术曾被许多主要机构*。我们的产品应用于生命科学,实验动物研究,药物开发,有机合成,材料科学/纳米技术,清洁能源研究等领域。我们不仅为顾客提供实验室解决方案,我们也参与特殊实验室的设计,建造以及交钥匙工程等项目。
我们的愿景
促进创新科技,建立更健康的地球,科技进步,促进健康生态,向更美好的生活迈进。
我们的使命
走在*技术的前沿,提供有效的解决方案和优质的服务,为科技进步做出贡献。
我们的目标
提供优质的客户服务,提供有效的解决方案,将*的实验室设备引入科学界,促进科学进步,改善人类生活,使世界变得更美好。
纳米压印Nanonex高分辨率光刻/对准器 Lumina系列为电子,光电,MEMS和许多其他应用中的高分辨率,对准,接触和接近光刻提供了高质量,可靠且经济高效的解决方案。 它具有易于使用的界面,高精度的载物台,高性能的光学元件和较小的占地面积。
Nanonex Lumina-200纳米压印主要特点
高分辨率光刻
高精度对准平台
*的对准光学
间隙控制
用户友好的PC控制
占地面积小
具有成本效益的设计
背面对齐可选
应用领域:半导体器件 *微机电系统 *光电子学 *高级包装 *电力设备
手册X-Y-?
带称重传感器的电动Z
移动范围: X和Y:1英寸
?:10度
Z:0.25英寸
掩膜加载能力
5”口罩标准
其他尺寸可选
基板装载能力
4”标准
其他尺寸可选
对准 模式:接近、柔和、硬
对准光学
分割栏 5倍物镜,1到7倍变焦
2个独立的手动X,Y,Z显微镜移动 精细粗调
通过CCD相机成像
曝光系统
紫外线:汞灯,带有可选的G线或I线过滤器
紫外线灯功率:500瓦
紫外线均匀照射
电动紫外线灯移动
具有Microsoft Windows的基于PC的控制计算机
用户友好的控制软件 PC控制的CCD视频
紫外线灯曝光由电脑控制
占地面积:31英寸乘44英寸(780毫米乘1110毫米)