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YES VertaCoat

型号
参数
品牌:其他品牌 应用领域:医疗卫生,环保,生物产业,农业
上海迹亚国际商贸有限公司

高级会员2年 

经销商

该企业相似产品

生命科学,实验动物研究,药物开发,有机合成,材料科学/纳米技术,清洁能源研究

上海迹亚商贸有限公司(Gaia China Co.,Ltd.)是新加坡迹亚集团(Gaia One International Pte. Ltd.)位于中国的子公司。旗下的公司分布于新加坡,马来西亚,印尼和缅甸。我们的工作团队经验丰富,技术力量强大,为大学,科研机构和工业企业提供实验设备和工程设备,具备引导潮流的实力。我们提供的*技术曾被许多主要机构公认。我们的产品应用于生命科学,实验动物研究,药物开发,有机合成,材料科学/纳米技术,清洁能源研究等领域。我们不仅为顾客提供实验室解决方案,我们也参与特殊实验室的设计,建造以及交钥匙工程等项目。

我们的愿景

促进创新科技,建立更健康的地球,科技进步,促进健康生态,向更美好的生活迈进。

我们的使命

走在*技术的前沿,提供有效的解决方案和优质的服务,为科技进步做出贡献。

我们的目标

提供优质的客户服务,提供有效的解决方案,将先进的实验室设备引入科学界,促进科学进步,改善人类生活,使世界变得更美好。

详细信息

YES VertaCoat应用

•涂上化学增粘剂的超薄保形单层涂层
•控制MEMS器件和micro LED防粘解决方案的表面疏水性
•为光学和AR / VR应用提供高度均匀的丙烯酸酯或环氧型粘合剂涂层和界面层
•对于纳米压印光刻(NIL)应用,应涂防粘涂层以延长冲压工具的使用寿命
•在生命科学中,应用硅烷表面单层在固体底物和生物分子(包括DNA和蛋白质)之间实现稳定的共价键连接
•薄的自组装单层(SAM)涂层,用于半导体应用中的选择性沉积

YES VertaCoat特点

•单个过程模块的两个负载端口EFEM或两个过程模块的四个负载端口EFEM的选项
•大容量腔室多可容纳五十个200/300 mm晶圆
•涂层温度高达250°C,温度均匀度≤1.5%,并进行多区域控制
•多达5条汽化线,具有的质量流量和热控制
•远程下游等离子发生器产生反应性原子氧,以去除反应室中的有机残留物

优点

•低压工艺减少了对导致晶片翘曲和损坏的高工作温度的需求
•优异的化学沉积均匀性; 接触角控制在+/- 3度内
•兼容多种有机硅烷,包括氨基,环氧,烷基和氯硅烷
•集成的等离子腔室清洁过程有助于保持运行过程的一致性
•环保,与湿法化学工艺相比,化学/溶剂用量明显减少

技术参数

硬件
集成EFEM:具有2个(两个)负载端口的1类(ISO 3)EFEM模块
可互换的处理200mm和300mm晶圆的能力晶圆图FOUP和PM机架的能力,可进行交叉开槽和双槽保护
晶圆尺寸:可配置200或300 mm晶圆,或用作具有双重处理功能的桥接工具

容量:
仅200mm配置:50个晶圆
200mm / 300mm选项配置:25个晶圆
仅300mm配置:50个晶圆
蒸汽输送:多达5条汽化线,具有的质量流量和热控制
箱体材质:316L不锈钢
工艺气体输入:2个标准(3个可选),预热
整合等离子体:13.56 MHz

软件
操作系统:基于Windows的配方管理,符合SECS / GEM。
符合SEMI标准:E30,E39,E40,E87,E90,E94

性能
环境清洁度:1级(ISO 3)
工作温度范围:50-250°C
温度均匀度:稳定后±1.5%
腔室压力控制:200 mT至100 T
化学用法:典型工艺1 – 10 mL
正常运行时间:> 95%

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产品参数

品牌 其他品牌
应用领域 医疗卫生,环保,生物产业,农业

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