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YES–PB Series
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上海迹亚商贸有限公司（Gaia China Co.,Ltd.）是新加坡迹亚集团（Gaia One International Pte. Ltd.）位于中国的子公司。旗下的公司分布于新加坡，马来西亚，印尼和缅甸。我们的工作团队经验丰富，技术力量强大，为大学，科研机构和工业企业提供实验设备和工程设备，具备引导潮流的实力。我们提供的*技术曾被许多主要机构*。我们的产品应用于生命科学，实验动物研究，药物开发，有机合成，材料科学/纳米技术，清洁能源研究等领域。我们不仅为顾客提供实验室解决方案，我们也参与特殊实验室的设计，建造以及交钥匙工程等项目。
我们的愿景
促进创新科技，建立更健康的地球，科技进步，促进健康生态，向更美好的生活迈进。
我们的使命
走在*技术的前沿，提供有效的解决方案和优质的服务，为科技进步做出贡献。
我们的目标
提供优质的客户服务，提供有效的解决方案，将*的实验室设备引入科学界，促进科学进步，改善人类生活，使世界变得更美好。
详细信息
真空固化的优势
•更快的流程：3.5小时vs 8个小时以上
•层流减少/消除了颗粒
•更*的固化（排气量减少5倍）
•减少膜应力，降低晶片翘曲
•功耗和N2消耗减少1.6到2倍
•大大降低了资本成本，降低了2-3倍的运营成本
PB8: 多2个200mm晶圆盒
PB12: 多2个300mm晶圆盒
技术参数
硬件
洁净室相容性:10级
箱体清洁度：1级
晶圆尺寸：大200mm
容量：每批多可容纳50个8英寸晶圆（两个25个晶圆盒）
工作温度：环境温度450°C
氮气流量：1 SCFM
耗氮量：15-25升/分钟。
内腔尺寸：36.62厘米（内径）x 66.52厘米（深）—（14.42“ x 26.19”）
腔室处理面积：23.95厘米（宽）x45.97厘米（深）x24.69厘米（高）—（9.43“ x
18.10”x 9.72“）
系统整体尺寸：68.96厘米（宽）x145.92厘米（深）x 77.87厘米（高）—（27.15“
x 57.45”x 30.64“）
控制台尺寸：59.44厘米（宽）x 96.01厘米（深）x 23.62厘米（高）—（23.4“ x
37.8”x 9.3“）
箱体材质：316L不锈钢
工艺气体输入：1个标准，多3个可选
质量流量控制器：可选–多3个用于气体混合
层流过滤器：100微米Mott™板式过滤器
清洁度：减少大多数应用中的颗粒
软件
配方数：8种温度曲线
每个配方的步数：16个程序步
分段时间范围：0-99小时
定时器设定分辨率：1分钟
性能
温度均匀性：所有温度点稳定15分钟后，在保压期间保持±5°C
平均升温速度（150°C-450°C）：5°C / min。 空箱负荷
平均冷却速度（450°C-150°C）：4°C / min。 空箱负荷
氧气浓度：本底超过10 ppm
配件
电源要求：208V，40 A，50/60 Hz，3相
重量（约）：575磅（261公斤）
