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起订量：
A3-SR-100 反射式膜厚测量仪
- 型号
- A3-SR-100
~苏州瑞格谱光电科技有限公司位于江苏省苏州工业园区，是一家致力于给面板显示行业、计量单位、高校科研机构、第三方检测机构以及光学检测设备仪器生产企业提供一些光学检测仪器及环境可靠性、温度、电学等测试设备的企业；是集生产、销售、维护为一体的综合性仪器服务商，能为各单位的生产、研发、质量检测、实验室等部门提供精确的技术选型及完善的售前和售后服务。经过不懈努力瑞格谱已与多家著名仪器仪表及质检计量单位、军工科研院所、高校实验室等建立了稳固、广泛的技术与销售合作关系，瑞格谱逐渐发展成为华东地区的优质仪器供应商。
详细信息
反射式膜厚测量仪
SR系列反射式膜厚测量仪可用于测量半导体镀膜，手机触摸屏ITO等镀膜厚度，PET柔性涂布的胶厚等厚度，LED镀膜厚度，建筑玻璃镀膜厚度及其他需要测量膜厚的场合。SR可用于测量2纳米到3000微米的膜厚，测量精度达到0.1纳米。 在折射率未知的情况下，还可用于同时对折射率和膜厚进行测量。
此外，SR还可用于测量样品的颜色和反射率。样品光斑在1毫米以内。A3-SR进行测量简单可靠，实际测量采样时间低于1秒。配合我们的Apris SpectraSys 软件进行手动测量，每次测量时间低于5秒。Apris SpectraSys支持50层膜以内的模型并可对多层膜厚参数进行测量。Apris SpectraSys 软件还拥有近千种材料的材料数据库，同时支持函数型(Cauchy, Cauchy-Urbach,Sellmeier), 物理光学（Drude-Lorentz,Tauc-Lorentz）,混合型（Maxwell Garnett, Bruggeman）EMA 等折射率模型。
同时，客户还可以通过软件自带数据库对材料，菜单进行管理并回溯检查测量结果。目标应用：半导体镀膜,光刻胶玻璃减反膜测量蓝宝石镀膜,光刻胶ITO 玻璃太阳能镀膜玻璃各种衬底上的各种膜厚，颜色测量卷对卷柔性涂布光学膜其他需要测量膜厚的场合.
产品型号和系统设置：
产品型号 | A3-SR-100 |
产品尺寸 | W270*D217*（H90+H140） |
产品图片 | |
测试方式 | 可见VIS 反射(R) |
波长范围 | 380nm - 1050 nm |
光源 | 进口 钨卤素灯 寿命10000小时 |
光路和传感器 | 光纤式(FILBER,进口 )+进口光谱仪 |
入射角 | 0 度 (垂直入射) (0 DEGREE) |
参考光样品 | 硅片 |
光斑大小 | About 1 mm（标配，可以根据用户要求配置） |
样品大小 | 10 mm TO 300 mm (可以根据用户要求配置) |
光学测量技术参数（OPTICAL SPECIFICATION）
测试方式 | 反射 |
膜厚测量性能指标（THICKNESS SPECIFICATION）：
产品型号 | A3-SR-100 |
厚度测量1 | 15nm - 100 um |
折射率1（厚度要求） | 大于100nm |
准确性2 | 2 nm 或0. 5% |
精度3 | 0.1 nm |
1表内为典型数值, 实际上材料和待测结构也会影响性能
2 使用硅片上的二氧化硅测量，实际上材料和待测结构也会影响性能
3 使用硅片上的二氧化硅（500纳米）测量30次得出的1阶标准均方差,每次测量小于1秒.
软件(SOFTWARE)：
检测项目 | 标准型 |
层数 | 10 层 |
材料 | 表格型和函数型 |
粗糙度模型 | 有 |
反射/透射 | 反射型+透射型 |
材料库 | 表格型+函数型 |
入射角 | 垂直入射 |
折射率测量 | 有 |
