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AZ ® 300MIF AZ 400K Dev 光刻胶配套显影液
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经销商武汉市洪山区莱博兹科学仪器经营部成立于2020年09月22日,注册地位于武汉市洪山区珞珈山大厦主楼15层1506室,法定代表人为高珍珍。经营范围包括网上销售:教学仪器仪表、五金产品、金属结构产品、办公用品、计算机及辅助设备、实验室化学试剂(不含有毒有害易燃易爆危险品)、实验室用品、塑料制品、实验室耗材;教学仪器仪表技术咨询服务。(涉及许可经营项目,应取得相关部门许可后方可经营)
AZ ® 300MIF 为2.38%TMAH(四甲基氢氧化铵)
AZ 400K MIC基于缓冲的KOH,通常以1:4稀释度使用
AZ ® EBR溶剂
PGMEA = EBR溶剂(乙酸1-甲氧基-2-丙酯)
PGMEA为溶剂/稀释剂几乎所有AZ的® 和TI光致抗蚀剂,由于其低蒸汽压力和它在颗粒形成抑制(进一步稀释)抗蚀剂。另外,由于PGMEA的低蒸气压阻止了涂覆的抗蚀剂膜的进一步变薄,因此它通常用于去除边缘的珠粒。
AZ ® 100去胶液
是基于溶剂和胺。用于光致抗蚀剂具有低位进攻铝剥离。使用乙醇胺可降低危害。
低蒸发速率允许在高温(80°C)下使用,高效率(每升> 3000个晶片)有助于节省成本。不用担心铝的侵蚀,甚至可以用水稀释。
SU 8 Dev su8胶配套显影液