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NS3500 H 大面积高速三维成像扫描系统
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Nanoscope Systems（纳兹克股份有限公司）是一家专门从事共聚焦显微镜研发和生产的韩国公司，公司坐落于拥有韩国 “硅谷”之称的大田广域市，公司周围集中了大量高校以及高新技术企业，与韩国LG，SK海力士、三星、ANI、 Humen,、KAIST、KBSI、首尔大学、釜山大学、NTU、 Southeast University等多家企业高校合作。凭借先进的光学技术，Nanoscope Systems向工业领域、低维材料领域、航空航天领域、化学领域、医学领域、生命科学等领域提供了专业、精密的产品。迄今为止，Nanoscope Systems 已经成为韩国先进光学技术代表企业之一。
自创立以来Nanoscope Systems专注于提高产品的性能，严谨细致的工作态度是我们产品质量的保障，自由的管理风格构成了公司*的文化。凭借优质的服务质量、高素质的销售团队以及具有丰富仪器技术和应用知识的技术支持团队和售后团队, Nanoscope System获得了各大企业和科研院校的好评。
Nanoscope Systems (中国)
为了更好的适应中国市场发展的需要，Nanoscope Systems(中国)将总部设在上海，并在全国各地设有测试中心，而上海巨纳科技有限公司作为韩国Nanoscope Systems 在中国Exclusive dealer，全权负责Nanoscope Systems 在中国的全部商务活动。
详细信息
NS-3500H 是一种准确、可靠的三维(3D)扫描系统，通过快速光学扫描模块和信号处理算法实现实时共焦显微图像。在测量和检测微观三维结构，可以为半导体晶片，FPD产品，MEMS设备，玻璃基板，材料表面等提供各种解决方案。
Features & Benefits（性能及优势）：
高分辨无损伤光学3D测量 自动倾斜补偿
实时共焦成像 简单的数据分析模式
多种光学变焦 双Z扫描
大范围拼接 半透明基材的特征检测
实时CCD明场和共聚焦成像 无样品准备
Application field（应用领域）：
NS-3500是测量低维材料的有前途的解决方案。
可测量微米和亚微米结构的高度，宽度，角度，面积和体积，例如
-半导体:IC图形，凹凸高度，线圈高度，缺陷检测，CMP工艺
- FPD产品:触摸屏屏幕检测，ITO图案，LCD柱间距高度
- MEMS器件:结构三维轮廓，表面粗糙度，MEMS图形
-玻璃表面:薄膜太阳能电池，太阳能电池纹理，激光图案
-材料研究:模具表面检测，粗糙度，裂纹分析
Specification(规格）：
?Model | Microscope NS-3500 | 备注 | |||||
NS-3500E | |||||||
物镜倍率 | 10x | 20x | 50x | 100x | 150x | ||
观察/ 测量范围 | 水平 (H): μm | 1400 | 700 | 280 | 140 | 93 | |
垂直 (V): μm | 1050 | 525 | 210 | 105 | 70 | ||
工作范围: mm | 16.5 | 3.1 | 0.54 | 0.3 | 0.2 | ||
数值孔径(N.A.) | 0.30 | 0.46 | 0.80 | 0.95 | 0.95 | ||
光学变焦 | x1 to x6 | ||||||
总放大倍率 | 178x to 26700x | ||||||
观察/测量光学系统 | Pinhole共聚焦光学系统 | ||||||
高度测量 | 测量扫描 | 长扫描 : 10 mm | |||||
显示分辨率 | 0.001 μm | ||||||
重复率 σ | 0.010 μm | 注 1 | |||||
宽度测量 | 显示分辨率 | 0.001 μm | |||||
重复率 3σ | 0.02 μm | 注 2 | |||||
帧记忆 | 像素 | 1024x1024, 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96 | |||||
单色图像 | 12 bit | ||||||
彩色图像 | 8-bit for RGB each | ||||||
高度测量 | 16 bit | ||||||
帧速率 | 表面扫描 | 20 Hz to 160 Hz | |||||
线扫描 | ~8 kHz | ||||||
自动功能 | 自动增益 | ||||||
激光共焦测量光源 | 波长 | 405nm | |||||
输出 | ~2mW | ||||||
激光等级 | Class 3b | ||||||
激光接收元件 | PMT (光电倍增管) | ||||||
光学观察光源 | 灯 | 10W LED | |||||
光学观察照相机 | 成像元件 | 1/2” 彩色图像 CCD 传感器 | |||||
记录分辨率 | 640x480 | ||||||
自动调整 | 增益, 快门速度, White balance | ||||||
数据处理单元 | PC | ||||||
电源 | 电源电压 | 100 to 240 VAC, 50/60 Hz | |||||
电流消耗 | 500 VA max. | ||||||
重量 | 显微镜 | Approx. ~200 kg (Measuring head unit : ~12 kg) | |||||
控制器 | ~8 kg | ||||||
注1 :以100×/ 0.95物镜对标准样品（步长1μm）进行100次测量
注 2 :以100×/ 0.95物镜对标准样品（5μm间距）进行100次测量。
