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溅射台 SME-200 溅射台

型号
溅射台 SME-200
参数
产地类别:进口 应用领域:能源
青岛泰斯迈仪器设备有限公司

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详细信息

产品简介:
它是一种多室型溅射装置,可以配备多个处理室(*多3个腔室200E,*多5个腔室200J和*多7个腔室200)                                     

产品特性:
 • 可运输Φ200mm板
 • 作为处理室的各种模块的阵容
 • 介电模块
 • 高温成膜模块
 • 精密分配模块
 • 蚀刻模块

产品应用:
 • 电子零件
 • 微机电系统
 • 动力装置
 • 发光二极管

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它是一种多室型溅射装置,可以配备多个处理室(*多3个腔室200E,*多5个腔室200J和*多7个腔室200)                                     

产品特性:
 • 可运输Φ200mm板
 • 作为处理室的各种模块的阵容
 • 介电模块
 • 高温成膜模块
 • 精密分配模块
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产品应用:
 • 电子零件
 • 微机电系统
 • 动力装置
 • 发光二极管

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产品参数

产地类别 进口
应用领域 能源
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