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前端预热PECVD
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安徽贝意克设备技术有限公司成立于2012年，基地位于安徽合肥，是一家集新材料设备研发、生产、销售与技术服务于一体的高科技企业。
公司重视技术攻关和产品研发，建有超卓的产品研发中心，拥有一支由多名博士硕士组成的专业研发队伍，累计获得patent200余项。并通过产学研合作，与北京大学南开大学等多所院校建立联合实验室及研究生联合培养基地
公司专注于新材料装备工艺开发及装备制造，产品门类涵盖了OLED材料提纯专用设备系列、碳材料制备设备系列、半导体专用设备系列及金属纳米颗粒设备系列四大类共十余个子类，与众多材料厂商、科研院校等保持长期合作关系，市场营销网络遍布全球各地。
连年来，公司相继被认定为“高新技术企业”“专精特新企业““科技小巨人培育企业”“石墨烯生长设备工程技术研究中心”“瞪羚企业”“雏鹰企业”，并接连获得“中国隐形独角兽500强”“科技创新奖”“创新创业奖”等多项荣誉。
详细信息
PECVD-II-500A高温真空炉加热腔体采用氧化铝纤维制品，其极低的热导率和比热容，保证了炉膛的快速升温和低蓄热，特别适合于科研单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热，有利于炉内温度场的均匀分布。高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统，控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温，电力调制器控制；负载采用小电压大电流控制，从而大大提高了发热元件的寿命，测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数，无须操作人员的干预，可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号，同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能，大大降低了对操作人员经验的要求，关键电气元件采用优质的进口产品，做到高性能、免维护，提高了设备质量的可靠性。 前端预热PECVD 前端预热PECVD | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
1、加热系统
2、PE射频电源
3、三路质子流量控制系统
4、低真空机组
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