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PECVD-III-500A-D210 智能型PECVD系统
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生产厂家安徽贝意克设备技术有限公司成立于2012年,基地位于安徽合肥,是一家集新材料设备研发、生产、销售与技术服务于一体的高科技企业。
公司重视技术攻关和产品研发,建有超卓的产品研发中心,拥有一支由多名博士硕士组成的专业研发队伍,累计获得patent200余项。并通过产学研合作,与北京大学南开大学等多所院校建立联合实验室及研究生联合培养基地
公司专注于新材料装备工艺开发及装备制造,产品门类涵盖了OLED材料提纯专用设备系列、碳材料制备设备系列、半导体专用设备系列及金属纳米颗粒设备系列四大类共十余个子类,与众多材料厂商、科研院校等保持长期合作关系,市场营销网络遍布全球各地。
连年来,公司相继被认定为“高新技术企业”“专精特新企业““科技小巨人培育企业”“石墨烯生长设备工程技术研究中心”“瞪羚企业”“雏鹰企业”,并接连获得“中国隐形独角兽500强”“科技创新奖”“创新创业奖”等多项荣誉。
1、开启式加热炉
加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料,配K型热电偶,6点控温;设备升降温控制灵活、加热炉可电动开启方便客户更换维修反应管。
可由质量流量计精确控制多路气体按不同流量进行混合配比,另外单独1路过鼓泡器后进入反应管内。
最高温度 | 1200℃ |
持续工作温度 | ≤1100℃ |
升温速率 | ≤10℃/min |
控温精度 | ±1℃ |
加热元件 | 电阻丝 |
热电偶 | K型 |
控温方式 | 模糊PID控制和自整定调节,人工智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能,人机界面加PLC控制,15寸液晶屏控制,数字工控仪表双控,采用工业智能控温仪和软件实现双控 |
加热总功率 | ≤15KW |
加热区尺寸 | 300+300+300mm |
射频功率 | 1000W |
设备尺寸 | 2550*850*1600mm |
设备重量 | 约600KG |