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参考价:¥9500001750000/件

FPSEM-STE35 三腔室分子束外延MBE系统

型号
FPSEM-STE35
参数
生长温度:900度
孚光精仪(中国)有限公司

高级会员8年 

经销商

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飞秒激光微加工系统,激光器,激光晶体,原子力显微镜

孚光精仪是进口精密仪器和实验室仪器设备供应商,是*基于激光和成像等光子技术分析测试仪器的规模性进口商和代理商,服务商。
孚光精仪公司以精密光学技术为特色,以光学应用为宗旨,以欧洲,北美和日本进口精密仪器为主业,为中国客户提供*分析测试仪器产品,促进光学技术产品在中国的应用和相关技术水平提升。

21世纪是光学世纪,激光,光谱,光学成像等光学技术极大地促进生物光子学,燃烧和流体力学光学诊断,光谱测试分析等学科发展和技术提升,成为前沿科学和先进制造*的分析,计量,测试和实验工具手段,因此“光学”成为“精密”的代名词,是*精密测试分析的有力实验技术。


孚光精仪公司就是这样一个以光学为特色的进口仪器和实验室设备公司,拥有齐全的进口精密(光学)仪器种类,庞大而可靠的国外生产商群体,和快捷高效的贸易体系,是用户信赖的进口分析测试技术仪器和实验室仪器的旗舰型供服务商。

公司品牌释意


孚:信服/conviction

光:光学/optics

精:精密/

precision
仪:仪器/Instruments

我们信服于光学,致力于光学精密仪器事业。


公司价值
孚光精仪-精通光学,服务科学

经验丰富的激光和光学技术工程师帮助用户出具方案,确认适合应用的精密

光学仪器和科学仪器装置,为用户提供“舒心,省心”的进口体验。
以丰富的进口操作经验和电子商务管理体系,高效沟通国外制造商,为用户提供高效的仪器进口和购置服务!
齐全的光学种类
涵盖了所有光学和激光技术应用领域和相关仪器

荧光光学成像仪器 (包括FRET系统,TIRFM显微镜系统, 钙成像显微镜系统,荧光寿命成像系统,生物发光和荧光发光成像系统等生物光子学仪器)

分子生物学

光学仪器( 包括凝聚成像,生物发光和荧光发光成像系统等)

医用

光学仪器(内窥成像,生物活检成像,辐射成像等)

光谱分析

测试仪器 (激光拉曼光谱仪, FTIR光谱仪,LIBS光谱仪等)

激光粒度仪器 (基于激光和图像技术的粒度和浓度

测试仪器

光学成像仪器 (高速成像,红外热成像,X射线成像)

光谱成像系统 (包括高光谱成像,多光谱成像仪器)

燃烧和流体力学光学诊断技术和仪器 (基于激光和成像技术,融合光谱分析技术组建PIV,PLIF,温度探测,燃烧分析成像等仪器)

无损光学检测仪器(如果激光散斑干涉,EPSI,X射线成像,热成像,光学内窥等仪器)

AFM, SEM,SPM等特种光学显微镜

通用

实验室仪器和设备(包含所有涉及光学技术的实验仪器)

服务和应用领域

生物光子学

生命科学

医学成像

制药

食品工程

化学和化工

 

实验室仪器实验室建设

流体力学

工程热物理

燃烧诊断分析

发动机研发

航空航天

地球物理科学

地质和石油勘探


半导体和微电子

 

 

 

 

 

先进制造

新能源

材料科学

仪器科学与技术

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客户群体
     
高等院校

*系统研究院所

中国国有企业及其研究院所

外资企业


高效的服务体系
总部位于上海,在上海自贸区和天津自贸区具有仓库,在香港设立贸易公司,拥有遍布全国的代理商,供应商遍布美国、德国、英国、法国、意大利、奥地利、瑞典、捷克、立陶宛、爱沙尼亚等精密仪器优势国家和地区。
公司受益于香港便捷的贸易条件以及上海自贸区和天津自贸区的高效进口程序,为客户提供高效技术仪器进口服务,为制造商提供高效出口服务。

灵活的购买方式
孚光精仪在天津和上海均有进口公司,众邦企业(天津)贸易有限公司和辅光精密仪器(上海)有限公司,具有商检,报关,进出口等高贸易资质,为客户提供优质而专业的进口服务,帮助出口商/制造商完成清关服务,并送货到用户地址。

 

外方经理定期来华办公指导                                             工作园区一角\

公司电子*门办公一角                                                   员工文化墙一角


用户的青睐和信任
我们高效的服务和质优价廉的产品赢得了广大的青睐和信赖,成为声誉*的*产品和服务供应商。国内的科研单位多次从我公司订购各种产品。如:
*上海光机所

*西安光机所

*安徽光机所

*长春光机所

*合肥物质研究院


*物理研究所

*光电研究院


*福建物质结构研究所
中国工程物理研究院
华中光电技术研究所
中国电子集团公司53

清华大学

北京大学

中国科技大学


哈尔滨工业大学
山东大学
武汉大学
南开大学

天津大学


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详细信息

三腔室分子束外延系统是带有三个MBE分子束外延生长腔室的异质结材料MBE生长设备,可用于在高达100mm的衬底上以及三个2英寸以上衬底上一次精确生长外延层,获得很好的厚度和均匀性能。
三腔室分子束外延系统使用PA-МВЕNH3-MBE特殊型号的MBE生长设备,可生长InAlGaAsSbInGaAlN外延异质结构。
在使用其他制造商的扩散池时,由于改变了“源到衬底”的距离(晶圆和加热器同时进行*的垂直移动),因此可以进行额外的均匀性优化。
三腔室分子束外延系统是一个三室超高压系统,包括单独泵送的生长室、用于预生长准备的缓冲/放气室和负载锁定室。所有腔室通过真空门和普通的半自动基板转移系统连接。生长过程由基于原有软件的自动化系统控制。它允许控制过程手动或在自动模式下使用编程配方。
三腔室分子束外延MBE系统

三腔室分子束外延系统基本配置:
•具有垂直生长几何结构的生长室,通过离子/低温泵(用于常规III Vs)或TMP/C Ryopump(用于III氮化物)和钛升华泵进行泵送
10×63CF孔,用于带百叶窗的渗出池,1个中心63CF孔和最多3×40CF无百叶窗的外部孔,用于V组材料阀门裂解器或气源;红外高温计或激光干涉测量孔
•通过生长室上的几个视口可以看到所有渗出细胞孔
•单个液氮冷冻板,有效包围生长体积(NH3-MBE生长操纵器的附加冷冻板)
•基于PBN/PG/PBN的生长机械手加热元件,具有高均匀性和快速上下动态
•一套分子源,包括5个渗出细胞和V组的源(带阀裂解器、氮等离子体源或氨注入器)
•最高基板温度-不低于900°С(NH3-MBE不低于1200°С)
•现场监测工具:RHEED、红外高温计、RGA和激光干涉仪(用于III氮化物生长)
•准备室,带有用于基板支架(7个)和晶片脱气台的存储盒,原子氢源专用端口
•带储物盒的装载锁室,用于基板支架(8个),带有配备手套箱的快速检修门
•一套基板支架
•适当的超高压仪表
•烘烤系统(高达200°C),无热点形成
•控制电子设备
•基于原始软件的过程控制系统
三腔室分子束外延系统主要优势:
•“实验室到工厂”的概念,允许开展从基础研究到异质结构试生产的活动
•铝(冷唇)专用渗出细胞,操作稳定,镓(热唇)提供低椭圆形缺陷密度
•在系统基本配置中对生长过程进行现场监测的所有必要工具
•特别设计的生长操纵器,提供高温均匀性和加热/冷却速率动态
•安装期间的有效技术支持,包括基本工艺转移
•简单的系统操作和定期的技术维护
三腔室分子束外延系统参数:

烘烤后生长室的最终真空度,Torr<5×10-11
最大基板直径,mm1003×2block
100mm晶圆的厚度和复合不均匀度,%±1
“源到基片”距离,mm135÷210
渗出细胞百叶窗设计基于磁耦合旋转运动的无冲击驱动旋转机构
百叶窗叶片材料钽、钼或PBN(可选)
生长机械手加热元件的设计PBN/PG/PBN
生长操纵器的最高工艺温度,不低于,℃900
NH3-MBE1200
准备室中基板脱气温度,不低于,℃650
III氮化物为1100
生长室烘烤温度,不低于,℃200
离子泵容量,不小于,l/s
–生长室(III-NTMP
–准备室
–负载锁定

800 (2000)
500
300



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