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PHI ADEPT 1010 动态二次离子质谱仪
高级会员第8年
代理商PHI (China) Limited 高德英特(北京)科技有限公司(以下简称"高德")于2010年在北京成立。高德公司秉承"为一.流的商业产品提供顶级的创新市场营销、售后服务和技术应用支持"的服务理念,为全.亚洲的客户提供服务和支援。
高德作为 ULVAC-PHI 在中国地区提供销售及售后服务的唯.一公司,产品主要集中在表面分析仪器,包括XPS、AES和TOF-SIMS,同时也提供Ellipsometer、MBE、ALD等设备。高德可为客户提供从产品策略性营销规划到产品应用及售后服务的完整解决方案。
高德凭借为客户提供业界最佳的产品和服务来为客户赋能,从而帮助客户创造最大价值。高德目前在中国地区已经建立起全.方位销售网络,销售合作伙伴遍布全国,客户包括国内知.名高校、科研院所以及高新技术企业等。高德技术人员皆具备多年使用超高真空和精密电子分析仪器的经验,售后服务网点和人员分布于全国各大区域,可在第一时间为客户提供及时、高效、完善的支持服务。
优势
ULVAC-PHI 最新设计的四极杆-二次离子质谱仪ADPT1010,在原有的PHI6300和PHI6600的基础上,改善了离子光学系统,是在一次离子能量低至250eV时,仍保持有效的溅射束流的动态二次离子质谱系统(D-SIMS)。
特点
大束流低能量离子枪设计,极大的提高了深度分辨率
高性能离子光学系统,改善了二次离子传输效率,在提高分析效率的同时又提高了检测灵敏度
高精度全自动5轴样品操控台
不同方向进入检测器的二次离子,均可被高灵敏地收集检测
应用实例分析
采用一次离子源Cs在加速5kV束流为100nA的条件下,分析GaAs中注入的H,C,O元素。可以看到H检测限值7.1X1016 atm/cm3,O检测限值4.4X1015 atm/cm3,C检测限值2.0X1015 atm/cm3。