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SurfaceSeer I-101 SIMS二次离子质谱仪

型号
SurfaceSeer I-101
参数
价格区间:面议 仪器种类:飞行时间 应用领域:医疗卫生,化工,地矿,电子,制药 原始束流或速能量:25kV 质量分辨率:> 3000 m/δm 质量分析范围:~10000U
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ALD,PECVD,RIE,磁控溅射,热蒸镀,电子束,离子束,晶圆清洗机,PA-MOCVD,飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)


那诺中国有限公司专注于为大中华区域(包括中国大陆、香港、澳门和中国台湾)的高校、科研院所、企业研发与生产等企业机构提供高性能、高性价比、定制化的薄膜工艺加工设备及科学分析检测仪器。


那诺中国提供美国那诺-马斯特薄膜工艺加工设备(包含磁控溅射、热蒸镀、电子束、PECVD、ALD、PA-MOCVD、RIE、离子束、DRIE、晶圆兆声清洗机等)。


那诺中国提供英国KORE基于飞行时间的质谱仪,包含飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)、质子转移反应(PTR)质谱仪、电子轰击电离(EI)质谱仪等。





详细信息

Kore SurfaceSeer I是一款高灵敏度、高质量范围、高分辨率的SIMS二次离子质谱仪(TOF-SIMS),可以用于绝缘、导电表面的成像分析与化学成分分析。SurfaceSeer I是研究表面化学的分析利器,适用于研发和工业质量控制应用。


SIMS二次离子质谱仪主要通过离子源发射离子束溅射样品表面进行分析。离子束作为一次离子源,经过一次离子光学系统的聚焦和传输,到达样品表面。样品表面经过溅射,产生二次离子,系统将产生的二次离子提取和聚焦,并将二次离子送入离子飞行系统。在离子飞行系统中,不同种类的二次离子由于质荷比不同,飞行速度也不同,在飞行系统分离,通过检测这些离子进行相关分析。


静态SIMS是一种非常灵敏的表面分析技术,能在只消耗样品单层一小部分的情况下,获得详细的质谱图。被分析的分子来自固体表面前几层,这对于探讨材料关键区域例如附着力或催化等性质至关重要。




SurfaceSeer I 使用与 SurfaceSeeer S 相同的 TOF-MS 技术,但配备了高亮度、高空间分辨率的 25kV 液态金属离子枪(LMIG)作为主要离子源。LMIG 的探头尺寸≤ 0.5µm,可实现高分析空间分辨率。全自动计算机控制,允许在质谱采集期间扫描离子枪,从而可以收集到化学图像或图谱。另外还提供了一个二次电子探测器(SED),用 于调谐初级电子束和 SED 图像捕获。



带有12.7µm重复单元的铜格栅


SurfaceSeer I 仪器特点:

  • 配备25KV液态金属离子枪(LMIG)作为主要离子源,检测能力更强,质量分辨率更高;

  • 具备表面成像和深度剖析功能;

  • 提供的SIMS材料谱库包含上千种材料的质谱数据,可识别未知的化合物和材料;

  • 可同时分析所有元素及有机物,可消除有机物和元素干扰,使谱图更清晰,检测限更低,能更有效地分析材料样品。

  • 专用数据处理软件允许分析数据和样品的化学构成信息进行全面的交互提取,其所有储存的数据都能用于溯源性分析。

  • 表面分析灵敏度高达 1x109 atoms/cm2


SurfaceSeer I 应用领域:

  • 表面涂层和处理

  • 电子元件和半导体

  • 电极与传感器

  • 润滑剂

  • 催化剂

  • 粘合剂

  • 薄膜等包装材料

  • 腐蚀研究

  • 大学教学与科研






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产品参数

价格区间 面议
仪器种类 飞行时间
应用领域 医疗卫生,化工,地矿,电子,制药
原始束流或速能量 25kV
质量分辨率 > 3000 m/δm
质量分析范围 ~10000U
企业未开通此功能
详询客服 : 0571-87858618
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