HORIBA 一键式全自动快速椭偏仪的主要特点

1. 液晶调制技术，无机械转动部件，重复性，信噪比高

2. 技术成像系技术，所有样品均可成像，对于透明样品,自动去除样品的背反射信号,使得数据分析更简单.

3. 反射式微光斑，覆盖全谱段，利于非均匀样品图案化样品测试

4. 全自动集成度高，安装维护简便

5. 一键式操作软件，快速简单

6. 自动MAPPING扫描，分析样品镀膜均匀性

HORIBA 一键式全自动快速椭偏仪的技术参数

1. 光谱范围：450-1000 nm

2. 多种微光斑自动选择

3. 光斑可视技术，可观测任何样品表面

4. 自动样品台尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自动调节; Z轴高度>35mm

5. 70度角入射

6. CCD探测器