全新 M6

— — 飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS）*科技

M6 是 IONTOF 在 TOFSIMS 5 基础上开发的新一代飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS）仪器，对一次离子源（LMIG）和质量分析器（TOF Analyser）进行了突破性的改进。

此外，在硬件方面还增加了 MS/MS 功能选项，重新设计了加热和冷却系统；在软件方面新增了多元统计分析（MVSA）软件包。其设计保证了 SIMS 应用在所有领域的应用性能。

新的突破性离子束和质量分析器技术使 M6 成为二次离子质谱（SIMS）仪器中的耀眼光芒、工业和学术研究的理想工具。

       全新 M6 具有以下突出优势：

1      新型 Nanoprobe 50 具有高横向分辨率 (< 50 nm)

2      质量分辨率 > 30,000

3      *的延迟提取模式可同时实现高传输，高横向质量

4      广域的动态范围和检测限

5      用于阐明分子结构具有 CID 片段功能的 TOF MS/MS

6      *智能的 SurfaceLab 7 软件，包括*集成的多元统计分析 (MVSA) 软件包

7      新型灵活按钮式闭环样品加热和冷却系统，可长期无人值守运行

Nanoprobe 50 — — 全新 M6 的突破性离子束技术

       Nanoprobe 50 是新一代 M6 的铋离子团簇离子源（LMIG）。

       该源可提供高达 40 nA 的 DC 电流和高达 40 pA 的脉冲一次离子电流（脉冲一次离子电流是 TOF.SIMS 5 的 2 倍 ），保证 50 nm 的高横向分辨率和提高两倍的数据传输率。

  其新的双极集束系统可以以高达 50 kHz 的重复频率运行，从而允许*的数据速率和改善的检测极限，使质谱性能和操作便捷性都更上一层楼。

  其快速成像模式下的性能优于 90 nm @ 350 pA，束流密度比上一代的 TOF.SIMS 5 提高接近 2 倍。

  Nanoprobe 50 是用于高横向分辨率显微分析和成像以及高质量分辨率表面质谱分析和深度剖析的理想一次离子源。

全新 M6 TOF Analyser（质量分析器）

相比于其他类型的质量分析器，传输率、质量分辨率和质量精度是飞行时间质量分析器最重要的优势性能。

M6 的反射型飞行时间质量分析器具有高传输率和高质量分辨率的特点，不论在 SIMS 正谱还是 SIMS 负谱应用中，两种高性能都是同时实现的。此外，可达到的足够高的质量精度是实现清晰峰鉴定的重要前提。M6 的飞行时间质量分析器具有线性质量标度，可提供优于 10 ppm 的质量精度。

相对于 TOF.SIMS 5 的 TOF Analyser 而言，M6 的 TOF Analyser 采用了全新的提取光学器件设计，可通过切换提取光学器件的工作模式实现更高的传输率和成像景深，非常适合进行样品台扫描成像；改进了二次离子传输系统，二次离子的传输能量高达 6 keV，提高了灵敏度并极大改善了 Delayed Extraction 模式下的性能；拓展了二次离子的飞行路径，从 2 m 增加到 3 m，全新 M6 的质量分辨率可达到 30,000（FWHM）；还进一步提高了二次离子检测系统的灵敏度和检测效率。并且 M6 的 TOF Analyser 依然兼容现有的EDR 技术和 Hybrid SIMS 功能选项。

提取光学系统和检测系统的革新性设计使传输率提高了三倍。结合高重复率和经过改进的 Nanoprobe 50 的一次离子电流，在双束深度剖析中的检测限也提高了三倍。新的开发还使成像速度提高了三倍，曾经耗时的图像采集如今只需要几分钟。

全新 M6 加热和冷却系统（Heating & Cooling）

为了将飞行时间二次离子质谱（TOFSIMS）的分析应用拓展到如挥发性化合物等组分会随温度变化而变化的材料，可以在进样室或分析室安装加热和冷却系统。

        由计算机编程控制温度和分析程序，为测定随温度变化而变化的成分而给出成分的温度分布提供了途径（也就是所谓的温度分布 SIMS ），还可以在选定的温度下进行分析、测定材料发生相变或转变的温度，还可以分析温敏材料。

        全新 M6 的 Heating & Cooling 是 IONTOF 在 TOF SIMS 5 Heating & Cooling 的基础上重新设计的全新加热和冷却系统，特别是在加热和冷却样品托、冷却系统方面。