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OIA 残余应力测量
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代理商利用光弹调制器技术,Hinds 公司的应力双折射测量系统(残余应力测量)可以在深紫外(193nm)波段进行应力双折射探测。针对特定材料制作(氟化钙)和特定形状(非球面透镜)的技术解决方案。
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Hinds 公司的不规则非球面光学元件应力分布测量系统(应力双折射测量系统)通过对光的调制解调可以测出待测光学元件中的双折射大小和方向,这些数据同时也表示了应力的大小和方向。Hinds 公司这套不规则非球面光学元件应力分布测量系统的倾斜,多角度入射扫描技术可以保证对非球面不规则的光学元件(光刻机透镜等)有着的扫描测量解决方案。