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LSCE-800接触式曝光机
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河南海恒实业有限公司是中国海恒集团公司成员企业，是中国*的超短超快激光器、傅里叶红外光谱仪、拉曼光谱分析仪、微纳机电、步进式光刻机以及核辐射监测设备等科研、检测与高校教学设备代理供应商。
公司地处中国地理中心——郑州，是黄河·嵩山临依之地，郑州是华夏文明的重要发祥地，是三皇五帝活动的腹地、中华 文明轴心区。享“得中原者，得天下”的美誉。
海恒实业有限公司是众多品牌仪器设备中国制造企业的合作代理商。公司发展具有坚实的技术支撑，与高校、研究院所达成深度合作，共同围绕超短超快激光及成像系统、拉曼光谱和微纳机电与光刻技术等新技术开展深入研究。能够向用户提供专业的技术指导、方案规划和项目实施。公司时刻以向用户提供高品质的产品和服务为己任，始终以解决客户实际需求为宗旨；持续向客户提供优质的产品及完善的售后服务。
详细信息
一、产品简介：
接触式曝光机指掩膜板直接与基板的光刻胶层接触，曝光出来的图形与掩膜板上的图形分辨率相当精确，设备简单，最小线宽可达800nm；可以配合使用多种型号的正光阻和负光阻；适用于从特殊大小的基片到4尺寸很宽广范围材料的紫外或深紫外光曝光。可广泛应用于半导体制造，光电电子，平板，射频微波，衍射光学，微机电系统，凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制和精度对准的应用。
二、应用领域：
半导体制造；光电电子、平板；射频微波，衍射光学；微机电系统；凹凸或覆晶设备等。
三、产品特点：
l 分辨率相当精确；
l 更广范围的紫外光波长选择；
l 支持恒定光强或恒定功率模式；
l 广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领域；
四、详细参数：
晶片尺寸 | 4英寸、6英寸、8英寸 |
曝光光源 | 365nm、380nm、395nm三种波长的LED集成光源 |
分辨率 | 3μm |
对准精度 | 300 nm |
缩放倍率 | 1：5 |
曝光方式 | 接触式曝光 |
特征尺寸均匀性（CDU） | ±10% |
尺寸 | 170 cm*130 cm*180 cm |
河南海恒实业有限公司
