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FIB-SEM-TOF-SIMS
上海磊微科学仪器有限公司 成立于2015年，总部位于上海市自由贸易区，是一家集销售、服务、技术支持及研发为一体的企业。公司主要产品为高精度的分析检测、生产设备及相关的备件，目前已与Park、Tescan、Picosun、Instec等优秀设备供应商建立战略合作关系。
上海磊微销售高精度的产品，同时培养了专业的销售和售后服务团队，以专业的服务获得了广大客户的认可。目前，上海磊微提供的产品广泛应用于芯片、显示、太阳能等半导体工业领域客户，同时服务于各大高校、科研院所，并以专业的销售和售后服务获得了广大客户的认可并建立了良好的合作关系。同时在北京、成都、深圳、合肥、烟台等地设有服务网点。
在半导体产业发展如火如荼的今天，上海磊微伴随着行业不断学习、积极提升自身水平， 为越来越多的客户提供了专业的产品和服务。今后，磊微将以不断培育的市场为依托，以先进优质产品为核心，以高效运作的团队为基础，迎来更快更好的发展。我们一直秉承团结创新、严谨奋进的企业精神，秉承诚信务实、互利多赢的经营理念，努力为客户、为社会提供高品质产品和服务。
详细信息
FIB-SEM-TOF-SIMS电子显微分析是材料和生命科学微观分析中最 重要的一环，而元素分析是其中最重要的表征手段 之一，但标准的分析手段如能谱仪和波谱仪存在因 灵敏度不足、空间分辨率较差，无法进行轻元素、 微量元素的分析，无法分辨同位素等等问题，已不 能满足应用发展的需求。
FIB-SEM-TOF-SIMS提供的解决方案是将飞行时间二次离 子质谱与FIB-SEM系统集成。这种组合能够为用 户提供固体材料的3D化学表征和分子信息，高离 子质量分辨率和高空间分辨率成像等，并可以进行 原位FIB深度分析。
飞行时间-二次离子质谱(TOF-SIMS)
TOF-SIMS (Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry)是具有高分辨率的质谱仪。 工作原理是用聚焦离子束照射样品表面，从而在样 品最上层的原子层激发出二次离子(SI),再根据 不同质量的二次离子飞行到探测器的时间不同来测 定离子质量。
与EDX相比，TOF-SIMS可以实现更好的横向 和纵向分辨率，还可以识别并定量样品表面层中存 在的元素和分子物质，以及具有类似标称质量的同 位素和其他物质等。
具有超高灵敏度，可检测从H开始的任意元 素，检出限达ppm量级
• 优异的空间分辨率，横向分辨率＜ 40 nm, 纵向分辨率＜ 3 nm
• 正负离子均可检测，离子质量分辨率＞800
• 2D和3D的快速、高离子质量分辨率和高 空间分辨率成像，可进行原位FIB深度剖析
• 通过精密控制的坐标转移，保证不同仪器分 析位置的重合
• TESCAN所有型号的FIB-SEM均可配置 TOF-SIMS 系统
1.轻元素及微量元素分析：Li离子电池中LI+面分布分析。
2.通过低电压和小束流FIB逐层减薄，成功区分出厚度为2.5 nm的掺有0-15% 的In元素的GaN层。
3.金属复合材料中微量元素的晶界偏析测定，检出限可达ppm级。
4.对铀矿石进行初期的同位素分析，快速得到238U和235U的分布信息。
