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LYRA3
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上海磊微科学仪器有限公司 成立于2015年，总部位于上海市自由贸易区，是一家集销售、服务、技术支持及研发为一体的企业。公司主要产品为高精度的分析检测、生产设备及相关的备件，目前已与Park、Tescan、Picosun、Instec等优秀设备供应商建立战略合作关系。
上海磊微销售高精度的产品，同时培养了专业的销售和售后服务团队，以专业的服务获得了广大客户的认可。目前，上海磊微提供的产品广泛应用于芯片、显示、太阳能等半导体工业领域客户，同时服务于各大高校、科研院所，并以专业的销售和售后服务获得了广大客户的认可并建立了良好的合作关系。同时在北京、成都、深圳、合肥、烟台等地设有服务网点。
在半导体产业发展如火如荼的今天，上海磊微伴随着行业不断学习、积极提升自身水平， 为越来越多的客户提供了专业的产品和服务。今后，磊微将以不断培育的市场为依托，以先进优质产品为核心，以高效运作的团队为基础，迎来更快更好的发展。我们一直秉承团结创新、严谨奋进的企业精神，秉承诚信务实、互利多赢的经营理念，努力为客户、为社会提供高品质产品和服务。
详细信息
LYRA3系列是在MIRA3扫描电子显微镜平台 上结合竦(Ga)离子源聚焦镜筒的双束(F旧-SEM)系 统，继承了 MIRA3扫描电镜强大的综合分析功能， 并将二维形貌观测和分析扩展到三维领域。
LYRA3系列专门针对科研机构与企业单位对 FIB-SEM的使用及需求设计制造，大束流、高分辨 的特点使其在EDS、WDS、EBSD、3D断层扫描 分析等领域具有特优势。3系列可同时进行 加工和观测，实现精确地定位切削、沉积，适用于 微纳尺度的加工和TEM制样等工作。
高性能离子系统
3系列配有高重复性马达驱动光阑转换器 的聚焦离子束镜筒，可同步实现SEM成像和FIB蚀 刻沉积。并且，3系列提供两款高性能的FIB 镜筒供选择：
• 适合于高速准确的截面切割和TEM样品制备的高 性能CANION型FIB镜筒。
• 超高成像和样品处理分辨率的COBRA型FIB镜 筒，分辨率达到2.5 nm @ 30 kVo
• SEM 分辨率：1.0nm@30kV
• F旧分辨率：2.5nm@30kV
• 3D立体成像技术可提供实时SEM和三维可 视化F旧蚀刻、沉积图像
• GIS气体注入系统，有多种气体源可选，能 够实现选择性切削和沉积
• 简单易用的软件，设有可编程参数，适用于 各种基本和复杂的形状绘制
• 强大的扩展分析能力，可集成多种分析附 件，实现样品的综合微区分析
1.超高分辨的3D EBSD应用。
2.高质量的超薄TEM薄片制备。
3.制备具有1 pm顶端半径的高精度纳米柱，用于进行机械测试使用。
4.小鼠小脑组织三维重构，2 kV连续成像，重构尺寸：6.5 x 6.6 x 5.7卩m3。
