- 面议
起订量：
Transpector® SPS 残余气体分析仪
该企业相似产品
杭州太昊科技有限公司是INFICON的授权代理商，专业销售INFICON旗下的真空产品及设备，同时致力于先进真空技术的推广和应用，为广大用户改进生产工艺，提升竞争力提供产品服务和技术支持。
目前，公司所经营的产品主要有三大类： 一、膜厚控制/监测系统，产品包括膜厚控制仪、膜厚监测仪、传感器探头、振荡器及坩埚控制仪等；二、气体检漏/分析系统，产品有氦质谱检漏仪、冷媒检漏仪、四极质谱仪（即残余气体分析仪）及其他类型检漏仪；三、真空监测/控制系统，产品主要包括：真空规、压强控制仪、质量流量计、真空阀门、真空密封件等；产品应用覆盖光电技术、太阳能薄膜、半导体制造、照明电器、空调制冷、科研、航天、汽车制造等众多行业和领域。公司本着“积极进取、开拓创新”的精神，不断提升专业技能、完善运营细节，兢兢业业、勤勤恳恳，旨在为广大用户提供更好的真空技术支持和更加完善的售后服务。
我们的理念是“完善自我，携手用户，精诚合作，共同进步”。我们以我们的诚信和服务赢得用户的肯定和信任，以客户的肯定和信任作为我们孜孜以求的动力和目标，期待更多新老朋友来电来函咨询业务，洽谈合作！
详细信息
Transpector® SPS 残余气体分析仪
INFICON Transpector® 单压取样 (SPS) 残余气体分析仪为目标高压过程提供上佳半导体晶圆和显示屏面板保护。凭借适合单压应用的zui敏感空气泄漏和过程污染检测，Transpector SPS 可蕞大程度减少晶圆和面板报废。它具有业内比较早的检测限值和测量速度，确保晶圆和面板产品的质量和数量。Transpector SPS 提供可靠的过程监控，确保实现稳定的高压过程，进而大程度提高过程能力和产量。该仪器融合了简单且高成本效益的入口系统与经实践验证的离子源和泵组，以提供低风险、多回报的气体分析解决方案。Transpector SPS 是一种经过验证的解决方案，适用于真空电弧重熔 (VAR) 等冶金和热处理应用，且是一般真空和工业应用的理想之选。Transpector SPS 可根据具体应用和预算进行配置和定制。 针对从 1E-4 Torr 到大气的取样过程压强，均可选用标准孔板、劈刀和旁路线组合。耐腐蚀入口、离子源和泵组的设计可确保在蚀刻、CVD、ALD 和其他腐蚀性气体过程中的耐受性。
1，得益于单压取样入口，很大程度降低晶圆和面板保护的总拥有成本；是扩散、外延和 RTP 等高压 过程的理想之选
2，提供蕞低漏气量和污染监测，确保恒定高压过程
3，通过 强大数据采集与同步实现无缝工厂集成和可靠阻断
4，通过定制 配方优化增强生产能力
5，通过即时现场专家响应保护关键过程需求
1，PVD 过程
2，扩散和外延过程
3，蚀刻过程包括：金属、电介质、硅刻蚀, HDP-etch
4，CVD 过程包括：高 k 电介质、HDP-CVD、LP-CVD、SA-CVD、CVD 低 k、PE-CVD
Transpector® SPS 残余气体分析仪
