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Transpector 2 四极质谱仪
- 型号
- Transpector 2
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杭州太昊科技有限公司是INFICON的授权代理商，专业销售INFICON旗下的真空产品及设备，同时致力于先进真空技术的推广和应用，为广大用户改进生产工艺，提升竞争力提供产品服务和技术支持。
目前，公司所经营的产品主要有三大类： 一、膜厚控制/监测系统，产品包括膜厚控制仪、膜厚监测仪、传感器探头、振荡器及坩埚控制仪等；二、气体检漏/分析系统，产品有氦质谱检漏仪、冷媒检漏仪、四极质谱仪（即残余气体分析仪）及其他类型检漏仪；三、真空监测/控制系统，产品主要包括：真空规、压强控制仪、质量流量计、真空阀门、真空密封件等；产品应用覆盖光电技术、太阳能薄膜、半导体制造、照明电器、空调制冷、科研、航天、汽车制造等众多行业和领域。公司本着“积极进取、开拓创新”的精神，不断提升专业技能、完善运营细节，兢兢业业、勤勤恳恳，旨在为广大用户提供更好的真空技术支持和更加完善的售后服务。
我们的理念是“完善自我，携手用户，精诚合作，共同进步”。我们以我们的诚信和服务赢得用户的肯定和信任，以客户的肯定和信任作为我们孜孜以求的动力和目标，期待更多新老朋友来电来函咨询业务，洽谈合作！
详细信息
INFICON（英福康）四极质谱仪(RGA)有简易的高功能仪器用于监测真空系统，准确地辨别常规的残余气体，便于及时检测真空问题与快速解除故障。这台全内置的仪器可容易地连接任何真空室，内置程序和TCP/IP接口，用于控制ToolCheck和运行于系统控制器的标准网页浏览器查阅结果，无需外接计算机。 简单的指令组易于写入用户特定的码，将ToolCheck集成于您的系统控制器。
Transpector 2的特点：
1、100－， 200－，和 300－amu 系统带法拉第杯或电子倍增器 / 法拉第杯的组合。
2、改进的氢检测。
3、与原始的 Transpector 相比讯噪比提高 10 倍。
4、快速扫描低值讯号。
5、个量级的电子学动态量程。
6、用于单传感器和多传感器系统的软件选件。
7、分压测量从 1 × 10 -4 乇至 2 × 10 -14 乇。
Transpector 2 是基于四极场的智能传感器，全部传感器电子驱动加上微处理器安装在一个附在传感器上的小型、轻便的密闭匣内。由于它是智能的传感器，具有相当的灵活度，您可以使用当前的计算机或从 INFICON 选购 PC 和软件包。两种通讯链接， RS232 用于单传感器， RS485 用于多传感器配置，将 Transpector2 连接控制计算机。简单的指令协议支配全部 Transpector功能。
RGA残余气体分析仪（四极质谱仪）应用：
1、检漏
2、真空设备本底状况鉴定
3、在线工艺气体监测分析
4、真空系统泄漏（内漏,外漏）
5、可设置报警点,实现报警功能
与氦质谱检漏仪的区别:
| RGA | 氦质谱检漏仪 | |
| 示漏气体 | 氦气或其他任何示漏气体 | 氦气 |
| 可检漏类型 | 内漏外漏 | 外漏 |
| 显示 | TWare32软件检漏模式/监控模式 （离子流/分压强） | 显示面板（漏率） |
真空系统本底状态鉴定
在系统达到极限真空时测定残余气体的种类和量值
真空系统污染监测和控制
清洗介质残留,返油（碳氢化合物）,表面放气（空气, H2O, O2, CO, CO2）
通过软件中的标准气体库,可确定气体成分
真空工艺监控
在线监控:实时反映工艺异常或偏差
数据按时间自动存储（SOD文件）以便日后追溯进行工艺分析：
继电器输出可用于控制阀门
模拟输出可连线PLC
镀膜工艺研究开发
各种工艺气体的相对比例对工艺/产品的影响
RGA的选用 - 为您的镀膜机选择合适的RGA
小可检分压强（MDPP）
法拉第杯（FC）: 3 x 10-13 Torr
电子倍增器（EM）+法拉第杯（FC）:10-14~10-15 Torr
质量数（AMU）
取决于需要探测的气体
100AMU传感器 探测范围: 1-100AMU
200AMU传感器 探测范围: 1-200AMU
300AMU传感器 探测范围: 1-300AMU
绝大多数工业应用仅需100AMU传感器
工作压强范围
标准RGA: < 5 x 10-4 Torr
高压强型XPR3: < 1 x 10-2 Torr
若需在更高压强下工作, 须使用取样系统（IPC400）
