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Transpector CPM RGA Transpector® CPM 3残余气体分析仪

型号
Transpector CPM RGA
参数
产地类别:进口 价格区间:面议 应用领域:电子,综合
杭州太昊科技有限公司

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氦质谱检漏仪,冷媒检漏仪,真空计,膜厚控制仪,流量控制器,气体分析仪,真空泵及耗材,晶振片

      杭州太昊科技有限公司是INFICON的授权代理商,专业销售INFICON旗下的真空产品及设备,同时致力于先进真空技术的推广和应用,为广大用户改进生产工艺,提升竞争力提供产品服务和技术支持。

      目前,公司所经营的产品主要有三大类: 一、膜厚控制/监测系统,产品包括膜厚控制仪、膜厚监测仪、传感器探头、振荡器及坩埚控制仪等;二、气体检漏/分析系统,产品有氦质谱检漏仪、冷媒检漏仪、四极质谱仪(即残余气体分析仪)及其他类型检漏仪;三、真空监测/控制系统,产品主要包括:真空规、压强控制仪、质量流量计、真空阀门、真空密封件等;产品应用覆盖光电技术、太阳能薄膜、半导体制造、照明电器、空调制冷、科研、航天、汽车制造等众多行业和领域。公司本着“积极进取、开拓创新”的精神,不断提升专业技能、完善运营细节,兢兢业业、勤勤恳恳,旨在为广大用户提供更好的真空技术支持和更加完善的售后服务。

我们的理念是“完善自我,携手用户,精诚合作,共同进步”。我们以我们的诚信和服务赢得用户的肯定和信任,以客户的肯定和信任作为我们孜孜以求的动力和目标,期待更多新老朋友来电来函咨询业务,洽谈合作!







详细信息

INFICON Transpector CPM 一直是半导体行业市场*先的残余气体分析仪 (RGA) 过程监测系统。现在,Transpector CPM 3 通过集成经实践验证的泵送和进口系统与新型传感器和电子元件,达到业内*先的测量速度和灵敏度。Transpector CPM 3 是新型和现有半导体过程(例如,ALD、CVD、PVD 和蚀刻)的理想 RGA 过程监控器。

Transpector CPM 3 通过以下特性为合作伙伴提供经实践证实的投资回报率:业内*先的测量技术,稳健的适应性架构,易于维护,出色的产品支持

功能

  • ALD、蚀刻、CVD 和 300 mm 除气残余气体分析仪 — 实现实时过程监测和分析

  • ALD 就绪,测量速度为每点 1.8 ms(每秒 555 点)

  • 在大多数苛刻 CVD 和蚀刻应用中,展现出经实践验证的耐久性和可靠性

  • 应用集成 — Transpector CPM 集成 FabGuard 软件,由 INFICON 高 级应用专家提供支持,是一款强大的过程监测与诊断工具

  • 紧凑尺寸 — 允许轻松集成到半导体生产设备

  • Hexblock™ 含三个压力进口并减少表面积,以zui小化表面反应时间和响应时间

  • 电容隔膜计 (CDG) — CDG 允许用户监测过程压力,并自动保护系统不出现压力偏移

  • 自动校准 — 确保长期数据稳定性和精度,以便进行各传感器和工具的腔室匹配





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产品参数

产地类别 进口
价格区间 面议
应用领域 电子,综合
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