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ALD实时监测仪RTM
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北京瑞科中仪科技有限公司专注半导体材料研究分析设备的研发和应用。专业的团队，专精的服务，提供理想的解决方案。
我们长期专注于半导体材料研究与分析设备的经销和代理，为高校、企业科研工作者提供专业的分析解决方案。以专业技能为导向，用科技来解决用户在科研中遇到的难题。专业的技术工程师和科研工作者进行现场演示和技术交流，打消顾虑，彼此协作，为我国的科研领域谱写新篇章。
北京瑞科中仪科技有限公司长期代理销售供应多种分子材料的研究分析设备，其中包括但不限于扫描电子显微镜、感应耦合等离子体化学气相沉积系统、离子束刻蚀机、等离子清洗机、物理气相沉积系统以及各品牌的光学显微镜以及实验室设备仪器。
客户至上的服务理念，以人为本的企业文化，我们始终为用户提供专业的服务！
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详细信息
ALD实时监测仪RTM
ALD实时监测仪的优势
工艺开发与优化
使用单一ALD循环可快速和简易地开发和优化ALD工艺。ALD实时监测仪显示了高达40ms分辨率的吸附和解吸过程。显著节省了研发时间，衬底，前驱体和气体。
节省前驱体
通过ALD实时监测仪，ALD工艺变得更加有效。节省了前驱体和工艺时间。
前驱体控制
当前驱体供应快要用尽时，ALD实时监测仪会立即检测到的每个周期的增长变化。
SENTECH ALD实时监测仪是一种新型的光学诊断工具，是心灵超高分辨率的单一ALD循环。在不破坏真空的条件下分析薄膜特性(生长速率，厚度，折射率)，在短时间内开发新工艺、实时研究ALD循环中的反应机理是SENTECH ALD实时监测仪的主要应用。
创新的ALD实时监测仪是特别为快速和有效的工艺开发而设计，可优化SENTECH原子层沉积设备。该软件使SENTECH ALD系统和ALD实时监测仪易于操作。ALD实时监测仪集成到SENTECH ALD系统软件中，确保操作简单。
