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P 系列 粉末原子层沉积系统
- 型号
- P 系列
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复纳科学仪器（上海）有限公司（简称“复纳科技”）于 2012 年在上海成立，聚焦荷兰飞纳台式扫描电镜在中国市场的推广和应用，涵盖领域包括材料、锂电新能源、半导体、生命科学和法医检测等。
截止目前，复纳科技服务超过 2000 家飞纳电镜客户和 100 家相关产品客户，包括：清华大学、北京大学、复旦大学、上海交通大学、华南理工大学和中科院系统等高校科研单位；巴斯夫、宁德时代、微软、默克和出入境检验局等企事业单位。
2017 年开始，复纳科技陆续与 7 家行业品牌建立了长期合作，致力于为中国高校、研究所、企业和政府用户提供先进可靠、高效智能的科学分析仪器、优质专业的服务和基于核心技术的解决方案。目前已引进先进的：DENSsolutions TEM原位样品杆，飞纳台式扫描电镜，NEOSCAN台式高分辨显微 CT，ForgeNano原子层沉积、 Technoorg Linda SEM/TEM样品制备和VSParticle 纳米气溶胶沉积等设备。
十年以来，复纳科技赋能中国科研创新、工业升级，人工智能检测的使命也越来越清晰。
详细信息
P 系列粉末原子层沉积系统
粉末包覆可有效提升材料性能与使用寿命，如锂电正极或负极材料，经过表面包覆处理后在放电性能及循环使用寿命方面都有明显提升，但目前工业的包覆手段以机械混合的干法为主，该方法包覆均匀性较差，性能提升有限。ALD 技术可实现高精度及均匀包覆，是理想的包覆手段。Forge Nano 针对粉末类材料比表面积大的特点，采用流化床技术实现粉末材料的流化，从而保证前驱体与粉末实现充分的接触。P 系列粉末原子层沉积系统是 Forge Nano 针对工业包覆研发的粉末 ALD 负载系统，可实现 kg 级粉末批量包覆，是工业生产前理想的研发工具。
产品规格【原子层沉积多少钱】
1. 前驱体通道：2-8
2. 腔室容量：0-600ml
3. 反应器温度：450℃
4. 最高工艺温度：200℃
5. 振动流化床反应器
6. 模块：流化辅助，质谱，臭氧发生器，等离子体发生器
产品特点
P 系列是 Forge Nano 专为粉末 ALD 开发的研发级工具，可轻松实现 kg 的粉末包覆。使用流化床技术可保证粉末在反应器中的分散，有利于前驱体扩散。
流化辅助
粉末在长时间存放或流化不充分时容易出现团聚，导致无法形成理想的流化态。因此利用流化辅助模块，高剪切气流以及振动反应器的设计可冲散团聚颗粒，确保分散效果。
分区加热
所有前驱体源均可独立加热，保证运输条件，这对于部分低蒸汽压的前驱体以及敏感的基底材料非常重要。P 系列也拥有*的阀门控制系统，可以实现多通道前驱体输运。
在线监测
P 系列配置了气体在线分析系统，对 ALD 工艺的改善有较大帮助，使用者可通过气体成分判断反应的完成度。
应用
锂电池：锂电正极或负极材料的包覆可有效提升其放电性能及使用寿命。常见的 NCM 与磷酸铁锂，在表面包覆 Al2O3 等氧化物薄膜后，在经过多次放电后，仍可保持较高的能量密度。
3D 打印：3D 打印粉末存在腐蚀及表面氧化的问题，会影响最终器件的性能。通过表面涂层改性，可有效延缓氧化及腐蚀。传统的包覆方式是在器件表面进行 ALD 沉积，但对于 3D 打印粉末，直接对原材料粉末改性无疑是更有效的手段。
催化：催化反应大多数是发生在材料表面的界面反应，因此对于催化剂材料进行表面构筑改性是有效的性能提升手段。利用 ALD 可以直接在粉末，纤维材料表面生长高活性纳米涂层，另一种方法是利用模板法结合 ALD 在表面构筑特定结构，暴露活性位点。此外，也可以在特定的颗粒表面进行表面包覆，防止催化剂烧结团聚。
