一、双腔室超高真空双倾角蒸镀PVD系统核心参数：    

仪器种类：其他  

产地类别：国产  

应用领域：其它  

基片尺寸：4寸（可定制）  

靶材：SiO2  

基片温度范围：RT-600ºC  

成膜厚度均匀性：均一性<3%  

极限真空：<3E-9Torr  

二、厦门韫茂科技有限公司为您提供双腔室超高真空双倾角蒸镀PVD系统的参数、价格、型号、原理等信息，产地为福建、品牌为韫茂，型号为QBT-E，价格为150万-200万RMB，更多相关信息可咨询，公司客服电话7*24小时为您服务。厦门韫茂科技有限公司是一家以纳米级表面成膜和刻蚀技术为核心的高新技术企业，面向量子科学，*材料，半导体，超导等领域为客户提供方位的技术解决方案，帮助客户更高效的推动技术的探索与发展，公司形成以UHV超高真空镀膜装备，ALD原子层镀膜系统、半导体专用镀膜设备为核心的产品矩阵，助力中国的高科技技术和产业的发展。

三、售后服务：  

保修期：1年  

是否可延长保修期：否  

现场技术咨询：有  

免费培训：1.设备出厂前，提供至少2人一周的设备原厂培训。2.设备在现场完成安装调试。  

免费仪器保养：有需要可安排。  

保内维修承诺：保修期内（除天灾和人为损害外）部件、元件费用、出差费用均由我司承担。  

报修承诺：质保期内出现故障时我司将及时响应，并在8小时内派技术人员到现场解决故障。

四、技术参数：

五、测试结果展示：