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OPTELICS AI 2 晶圆缺陷检测仪
- 型号
- OPTELICS AI 2
飞秒激光加工系统
上海旭量光学技术有限公司专研于光电产品系统集成。。坚持在光电领域前沿的不断探索，公司不仅为用户引进原厂生产的各类标准产品，而且致力于根据用户的新需求，探索提供完整的系统解决方案，包括研发设计、生产、集成和二次开发等，努力为客户提供专业、优质的服务。
我们坚持致力于高质量科研产品的推广工作，在飞秒激光器及飞秒微纳加工，超快时间分辨光谱及成像等超快领域拥有专业、全套的解决设备及方案。现设有北京，杭州、深圳三个分公司和售后服务中心。 主要科研产品：微纳飞秒激光加工系统、激光加工过程监测系统；一体化飞秒激光器及纳秒激光器、皮秒激光器、超连续白光光源；科研级深度制冷CCD、sCMOS、ICCD、EMCCD、
详细信息
Lasertec已将OPTELICS AI 2商业化，这是一种新型共聚焦显微镜自动检查/检查系统，集成了高速自动缺陷检查功能、缺陷映射功能和高倍率形状检查功能。
特征
从自动缺陷检查到各种材料的半导体晶圆的高倍率检查和形状测量，一个单元即可处理所有事务。活跃于从研发到量产的各个阶段
高速检测：亚微米级灵敏度可在 15 分钟内完成 3 英寸晶圆的全面检测
高倍率回顾：通过切换物镜可以进行高倍率 3D 形状测量
通过深度学习实现高精度的图像分类。可以进行图案板检查和特定缺陷类型的检查
即使对于化合物半导体和薄膜等透明样品，也可以在不受背反射影响的情况下进行检查、高倍率检查和形状测量。
由于 Lasertec 提供从硬件到软件的完整系统，因此可以根据客户的要求定制和支持整个系统。
用法
各种材质半导体晶圆的高速自动缺陷检测
缺陷审查
缺陷形状测量
每个制造过程中的缺陷跟踪
规格
| 检查时间（3"晶圆） | 15分钟 |
|---|---|
| 检查对象 | 各种晶圆（Si、SiC、GaN、InP、AlN、玻璃等）、玻璃基板、薄膜等 |
| 高速自动缺陷检测 | 共焦光学与微分干涉干涉 |
| 高倍复习 | 共焦光学系统 |
| 3D形状测量 |
