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WS-1000 湿法匀胶工作台
- 型号
- WS-1000
冷热台，快速退火炉，光刻机，纳米压印、磁控溅射，电子束蒸发
深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
1. 尺寸
48英寸（宽）x433/8英寸（深）x741/4英寸（高）（121.9厘米（宽）x110.04厘米（深）x188.60厘米（高）
2. 典型工艺
蚀刻
显影—水性/溶剂
清洁—水性/溶剂
硫酸/过氧化物（原位混合）
HBr
温控显影
漂洗/烘干
3. 特征
全聚丙烯结构（可提供自熄功能）
适合安装任何Laurell旋转处理器
穿孔湿甲板（易于拆卸）
湿式增压室
带仪表的排气增压室
下方为加热器、泵、容器的隔离组件/抽屉......
4. 选项
触摸屏控制界面
观看LaurellTouch演示视频
处理器排气联锁（EDC™型号标配）
化学加热
通过压力容器物料搅拌（磁性）
冲洗至电阻率
排水分流器
真空装载棒
晶圆盒支架
泄漏检测
灯塔
如有需要，可提供高材料
5. 阻燃选项
WS-1000-CP7-D—聚丙烯配方其阻燃特性符合严格的FMRC4910测试标准对于大多数方面的阻燃性、自熄性和烧穿特性。这种先进的材料还达到或超过了低烟雾产生和小有毒副产物的测试标准。
