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WS-650-8B 匀胶机
- 型号
- WS-650-8B
冷热台，快速退火炉，光刻机，纳米压印、磁控溅射，电子束蒸发
深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
1.产品概述：
laurell的WS-650-8 B 型匀胶机结构紧凑，具有先进的功能。这款650系列涂布机系统 将 可容纳大200mm晶圆和 7英寸×7英寸 （178mm×178mm）基板，大转速为12,000 RPM（基于100mm硅片）。
2.设备原理：
利用电机高速旋转时所产生的离心力使胶液均匀地涂敷在基底材料的表面，形成一层微米或纳米厚度的均匀薄膜。
3.产品特色：
650系列过程控制器采用坚固的微处理器，并使用其随附的PC软件（编写在面向对象的编程语言中），它在过程中都实现了高的灵活性定义和使用。该控制器允许操作员在流程执行过程中进行实时交互，包括暂停时间、停止和从该点继续。该系统可以并且将通过可下载的固件修订版在现场轻松快速地持续更新。
650系列控制器也可以与带有Spin3000（Laurell的过程管理软件）的PC结合使用。使用PC增加了在运行过程、远程操作、编程或通过LAN或Internet进行通信时记录过程的能力。该软件免费提供，使操作员能够创建虚拟过程模拟，甚至超出硬件安装的旋转处理器的能力，实际上让他们在进入过程之可以尝试一下。所有650个系统都可以通过简单的插件模块进行升或重新使用，而无需返回工厂，无论是实际还是虚拟，并且可以包含几乎无限数量的流程和步骤。
