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四探针电阻率测试仪
中级会员第3年
经销商深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
一、四探针电阻率测试仪 应用:
半导体材料、太阳能电池材料(硅、多晶硅、碳化硅等),新材料、功能材料(碳纳米管、DLC、石墨烯、Ag纳米线等)、导电薄膜(金属、离子等),扩散层,硅相关外延材料,离子注入样品
二、四探针电阻率测试仪 样品尺寸及测量范围:
1.尺寸:基于所选择的平台而定,圆形样品最大支持300mm(12 inch),或方形最大尺寸730x920mm
2.测量范围:
V/I 电阻: 1.0m - 3.0M Ω
方阻: 5.0m - 10.0M Ω/sq
电阻率: 1.0μ - 300.0k Ω.cm
三、企业简介:
深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。