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自动光谱椭偏仪SENDURO®
顶级会员第2年
经销商北京瑞科中仪科技有限公司专注半导体材料研究分析设备的研发和应用。专业的团队,专精的服务,提供理想的解决方案。
我们长期专注于半导体材料研究与分析设备的经销和代理,为高校、企业科研工作者提供专业的分析解决方案。以专业技能为导向,用科技来解决用户在科研中遇到的难题。专业的技术工程师和科研工作者进行现场演示和技术交流,打消顾虑,彼此协作,为我国的科研领域谱写新篇章。
北京瑞科中仪科技有限公司长期代理销售供应多种分子材料的研究分析设备,其中包括但不限于扫描电子显微镜、感应耦合等离子体化学气相沉积系统、离子束刻蚀机、等离子清洗机、物理气相沉积系统以及各品牌的光学显微镜以及实验室设备仪器。
客户至上的服务理念,以人为本的企业文化,我们始终为用户提供专业的服务!
合作丨共赢,选择我们,选择未来!
自动对准
自动光谱椭偏仪SENDURO®所有的全自动光谱椭偏免除了用户根据高度和倾斜度手动地对准样品的麻烦,这对于高精度和可重复的光谱椭偏是必要的。该自动对准传感器大大减少了操作误差,适用于透明和反射样品,即使在弯曲的样品上也可实现自动扫描。
操作简单
配方模式非常适合于生产,工艺监控以及研发的常规应用。该光谱椭偏仪带有随机可的配方数据库,可以根据您的具体需要对其进行修改。
步进扫描分析器
自动光谱椭偏仪SENDURO®步进扫描分析器SSA是SENTECH光谱椭偏技术的一个特征。分析样品的总时间只需几秒钟。
SENDURO® 可测量透明和反射基片上单层薄膜和层叠膜的折射率和厚度。SENDURO® 自动扫描则实现了较高的样品速度,化安装工作量和低的维护成本。该光谱椭偏仪的自动扫描具有预定义或用户定义的模式、允许广泛的统计特性和数据图形显示。
SENDURO® 是SENTECH自动化,占地面积小,设计紧凑的椭偏仪的代表。测量台包括椭偏仪光学部件、自动倾斜和高度传感器、电动样品台和控制器电子设备,它们全部紧凑的组合。为了达到更高产量的要求,我们的光谱椭偏仪也提供了片盒站装载尺寸到300 mm的大晶片。
SENDURO® 以其高样品测量速度,易于操作和自动对准在工业应用中表现出色。应用范围从半导体上的介质膜到玻璃上的多层光学涂层。
SENDURO® 优异的光谱椭偏软件具有配方模式和工程模式。配方模式致力于重复应用程序的简单执行。密码控制的用户登录允许不同级别的用户登录。在交互模式下,椭偏测量通过交互式的,指导性的图形用户界面得到增强。此外,可以使用材料数据库和散射模型修改已经存在的配方或建立新的配方。