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FPD-PVD磁控濺鍍設備

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应用领域:环保,化工,电子
北京瑞科中仪科技有限公司

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半导体材料分析,材料刻蚀

北京瑞科中仪科技有限公司专注半导体材料研究分析设备的研发和应用。专业的团队,专精的服务,提供理想的解决方案。

我们长期专注于半导体材料研究与分析设备的经销和代理,为高校、企业科研工作者提供专业的分析解决方案。以专业技能为导向,用科技来解决用户在科研中遇到的难题。专业的技术工程师和科研工作者进行现场演示和技术交流,打消顾虑,彼此协作,为我国的科研领域谱写新篇章。

北京瑞科中仪科技有限公司长期代理销售供应多种分子材料的研究分析设备,其中包括但不限于扫描电子显微镜、感应耦合等离子体化学气相沉积系统、离子束刻蚀机、等离子清洗机、物理气相沉积系统以及各品牌的光学显微镜以及实验室设备仪器。

客户至上的服务理念,以人为本的企业文化,我们始终为用户提供专业的服务!

合作丨共赢,选择我们,选择未来!

 

详细信息

FPD-PVD磁控濺鍍設備

隨著LCD面板和製造所需玻璃的尺寸的增加,製造設備也隨著變得更大,需要越來越大的設備投資。SYSKEY針對中小尺寸的需求開發串集的PVD 設備,擁有4個單獨的濺鍍腔體,讓客戶能任意搭配沉積的材料,同時保有彈性和具有選擇性的系統。

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FPD-PVD磁控濺鍍設備

應用領域
  • TFT-LCD

  • 太陽能電池

  • 觸碰屏

  • 氧化物、氮化物和金屬材料的研究


配置和優點選件
  • 客製化基板尺寸最大為550 x 650 mm2(玻璃)

  • 優異的薄膜均勻度小於±5%

  • 穩定的溫度控制,可將基板加熱到400°C

  • Cassette傳送站

  • 基材電漿清潔

  • OES、RGA或製程監控的額外備用

    端口。


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