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有機材料熱蒸鍍設備

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应用领域:环保,化工,电子
北京瑞科中仪科技有限公司

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半导体材料分析,材料刻蚀

北京瑞科中仪科技有限公司专注半导体材料研究分析设备的研发和应用。专业的团队,专精的服务,提供理想的解决方案。

我们长期专注于半导体材料研究与分析设备的经销和代理,为高校、企业科研工作者提供专业的分析解决方案。以专业技能为导向,用科技来解决用户在科研中遇到的难题。专业的技术工程师和科研工作者进行现场演示和技术交流,打消顾虑,彼此协作,为我国的科研领域谱写新篇章。

北京瑞科中仪科技有限公司长期代理销售供应多种分子材料的研究分析设备,其中包括但不限于扫描电子显微镜、感应耦合等离子体化学气相沉积系统、离子束刻蚀机、等离子清洗机、物理气相沉积系统以及各品牌的光学显微镜以及实验室设备仪器。

客户至上的服务理念,以人为本的企业文化,我们始终为用户提供专业的服务!

合作丨共赢,选择我们,选择未来!

 

详细信息

有機材料熱蒸鍍設備

有機金屬熱沉積系統是一種熱蒸發的方式,用於將有機或金屬材料沉積到基板表面上。該過程需要通過精確控制溫度和沉積速率來實現薄膜的高精度和均勻性。

為了達到此要求,有機材料熱沉積系統使用高精準熱蒸發源作為加熱源,並使用金屬、石英、陶瓷或PBN坩堝來容納有機材料以及PID控制器來控制其沉積速率。該系統通常用於有機電子研究領域,例如OPV、OLED、OPD... 

有機材料熱蒸鍍設備

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封装系统

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SYSKEY針對研究等級的實驗室,推出玻璃對玻璃封裝的對位壓合機構。我們整合塗膠系統(UV或liquid gate)和紫外光燈可安裝於手套箱或是獨立的一個壓合腔體內,且可手動進行放片,也可以透過自動傳片系統使用。可撓式OLED必須輕薄且具有可撓曲性,因此過往的玻璃材料並不適合用於此類的封裝,必須採用薄膜封裝技術(Thin-Film Encapsulation,TFE)或混和封裝技術。SYSKEY針對薄膜封裝推出電漿輔助式化學氣相沉積、原子層沉積和聚對二甲苯沉積等三種設備,且使用低溫的沉積技術,分別在OLED 上堆疊多層薄膜(SiNX、SiOXNX、Al2O3、ZnO、Parylene)並得到更好的保護層,以減少水氧對於有機元件的影響,從而提高OLED面板的壽命和性能。

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應用领域腔體
  • 有機發光二極體

  • 有機光伏打電池

  • 材料科學研究

 

  • 由304不銹鋼所製成,通過外部焊接304不銹鋼管線對腔體進行水冷

  • 寬大的前開式門,並有兩個視窗和

    視窗遮版用於觀察基材和蒸發源

  • 一個熱蒸發腔體內,最多可容納

    12組熱蒸發源

  • 腔體的極限真空度約為10-8 Torr。

配置和優點選件
  • 客製化的基板尺寸,最大直徑為12寸晶圓或470 x 370 mm2(玻璃)

  • 優異的薄膜均勻度小於±3%

  • 用於有機材料的蒸發源(可用金屬、陶瓷、石墨或PBN坩堝)

  • 鍍率自動控制:最小值為0.01Ǻ/s

  • 蒸發源溫度控制可達到精度±0.1oC

  • 具有順序操作或共沉積的多個蒸發源

  • 用CCD對位將玻璃基板和遮罩的

    位置對準在±5μm以內

  • 每個蒸發源和基材均有安裝遮板。

  • 每個蒸发源和基板均装有百葉窗。

  • 可以與傳送腔、機械手臂和手套箱整合在一起

  • 殘留氣體分析儀。

 


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应用领域 环保,化工,电子
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