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串集多腔镀膜设备

型号
参数
应用领域:环保,化工,电子
北京瑞科中仪科技有限公司

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半导体材料分析,材料刻蚀

北京瑞科中仪科技有限公司专注半导体材料研究分析设备的研发和应用。专业的团队,专精的服务,提供理想的解决方案。

我们长期专注于半导体材料研究与分析设备的经销和代理,为高校、企业科研工作者提供专业的分析解决方案。以专业技能为导向,用科技来解决用户在科研中遇到的难题。专业的技术工程师和科研工作者进行现场演示和技术交流,打消顾虑,彼此协作,为我国的科研领域谱写新篇章。

北京瑞科中仪科技有限公司长期代理销售供应多种分子材料的研究分析设备,其中包括但不限于扫描电子显微镜、感应耦合等离子体化学气相沉积系统、离子束刻蚀机、等离子清洗机、物理气相沉积系统以及各品牌的光学显微镜以及实验室设备仪器。

客户至上的服务理念,以人为本的企业文化,我们始终为用户提供专业的服务!

合作丨共赢,选择我们,选择未来!

 

详细信息

串集多腔镀膜设备是一組真空腔系統,這些真空腔系統通過位於系統中心的傳輸腔相互連接。從基材的清潔、鍍膜與封裝的所有過程都在不破壞真空的環境下連續進行。所有這些過程使外部環境的影響最小化,以防止在沉積的過程中基板表面氧化,並為元件製造提供了最大效率。

Syskey可根據客戶要求提供多腔體鍍膜系統。 我們的系統通常包含濺鍍、蝕刻、PECVD、熱蒸發、ALD、退火、電漿清洗和冷卻系統,這些系統可用於FPD、電子行業、太陽能電池和半導體行業。

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串集多腔镀膜设备参数

應用领域腔體
  • 半導體行業。

  • 太陽能電池。

  • LED。

  • 有機發光二極體。

  • 有機光伏打電池。

  • 平板顯示器。

  • 客製化的腔體尺寸取決於基板尺寸和應用。

  • 帶有機械手臂的鋁製腔體,用於在腔體之間的傳送。



選件

  • 濺鍍。

  • PECVD。

  • 乾蝕刻。

  • ALD/ PEALD。

  • 電漿清洗。

  • 熱退火。

  • 電子束蒸發。

  • 熱蒸鍍




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产品参数

应用领域 环保,化工,电子
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