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成都真空设备厂家 桌面真空镀膜机 可定制

型号
参数
产地类别:国产 价格区间:面议 应用领域:综合
成都汉普升科技有限公司

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光学器件,光电设备,电子设备

成都汉普升科技有限公司,成立于2015年11月16日,致力于电真空、核级装备、人工晶体材料及薄膜制备设备的技术提升,在服务领域深耕细作,具有较深的技术沉积。
公司成立以来,在自己所擅长领域为客户提供优良的产品和技术解决方案,公司注重产品和运营模式创新,我们坚信:唯有创新方能给用户增值,公司已与多家科研院所、高等院校及企事业单位进行横向合作,形成了科研级、工业级产品体系,已为客户设计制造了多套专用设备和仪器,获得了用户广泛赞誉。

详细信息

 

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1. 主体:全封闭框架结构,真空室为前开门方式,机柜和主机为一体式机构。采用优质0Cr18Ni9不锈钢材料(SUS304),箱体尺寸为不小于φ350X400mm。设置DN100观察窗口,位于真空腔体门正前方,骨架默认白色(或铝合金本色),门板为白色,四只脚轮,可固定,可移动。室体、真空机组、磁控靶等有断水报警锁定安全装置,能够防止停水后出现安全隐患。

2. 真空系统:

2.1极限真空度:≤6.63×10-4Pa(空载、经充分烘烤除气并充干燥氮气)。

2.2真空配置:高速直联旋片泵一台,抽速大于6L/S,超高分子泵一台,抽速600L/s。

2.3真空测量:两路电阻规,一路电离规;对真空室和真空管道分别精确监控,带数据通讯。

3. 工件架系统:单工位4英寸工件盘,工件盘可加热至500摄氏度,工件架真空室底部安装,便于更换基片,转速3~30rpm。

4. 照明装置:照明装置1套。

5. 磁控溅射系统:配置2-3个Φ50mm磁控靶,安装于真空室顶部,向下溅射成膜。

6.充气系统:二路分别配置质量流量控制器,分别为0-100SCCM 1只,0-200SCCM1只,准确度±1% F.S,线性±0.5 % F.S,重复精度±0.2% F.S。

7.循环冷却水路:配置冷水机组与空压机。

8.电气控制系统:采用功能化模块设计方式,匹配西门子控制单元和MCGS人机界面,实现真空系统的自动控制,基本工作单元的控制,安全报警及故障信息显示,并通过文字方式提示,软件的功能和模块可以根据实际需求进行单列或合并,但不得减少功能。


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产地类别 国产
价格区间 面议
应用领域 综合
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