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GL150 PreNIL/GL300 PreNIL全自动纳米压印光刻预处理设备
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生产厂家青岛天仁微纳科技有限责任公司成立于2015年,是引新的纳米压印设备和解决方案提供商。公司的核心竞争力是为客户提供纳米压印整体解决方案。产品与服务涵盖纳米压印相关的设备、模具、材料、工艺以及生产咨询服务。我们致力于拓展纳米压印技术在创新产品领域的应用,例如发光二极管(LEDs)、微纳机电系统(MEMs/NEMs)、虚拟现实和增强现实光波导(AR Waveguides)、3D传感、生物芯片、显示以及太阳能等。
GL150 PreNIL/GL300 PreNIL全自动纳米压印光刻预处理设备,自动上下片,包含基底清洗、匀胶、烘烤和冷却功能。
GL150 PreNIL/GL300 PreNIL全自动纳米压印光刻预处理设备主要功能
●全自动纳米压印光刻基底预处理
●机械手自动上下片,包含基底清洗、匀胶、烘烤和冷却功能
●毛刷清洗、二流体清洗、兆声波清洗
●旋涂匀胶,包含自动供胶系统、EBR、BSR等功能
●热板烘烤、冷板冷却功能