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GL150 PreNIL/GL300 PreNIL全自动纳米压印光刻预处理设备

型号
青岛天仁微纳科技有限责任公司

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详细信息

GL150 PreNIL/GL300 PreNIL全自动纳米压印光刻预处理设备,自动上下片,包含基底清洗、匀胶、烘烤和冷却功能。

  • GL150 PreNIL/GL300 PreNIL全自动纳米压印光刻预处理设备主要功能

●全自动纳米压印光刻基底预处理

●机械手自动上下片,包含基底清洗、匀胶、烘烤和冷却功能

●毛刷清洗、二流体清洗、兆声波清洗

●旋涂匀胶,包含自动供胶系统、EBR、BSR等功能

●热板烘烤、冷板冷却功能

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