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GL MegaClean单片式兆声波清洗设备
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生产厂家青岛天仁微纳科技有限责任公司成立于2015年,是引新的纳米压印设备和解决方案提供商。公司的核心竞争力是为客户提供纳米压印整体解决方案。产品与服务涵盖纳米压印相关的设备、模具、材料、工艺以及生产咨询服务。我们致力于拓展纳米压印技术在创新产品领域的应用,例如发光二极管(LEDs)、微纳机电系统(MEMs/NEMs)、虚拟现实和增强现实光波导(AR Waveguides)、3D传感、生物芯片、显示以及太阳能等。
GL MegaClean单片式兆声波清洗设备主要用于晶圆清洗等工艺。
GL MegaClean单片式兆声波清洗设备主要功能
●基材尺寸大300mm直径以下圆片清洗
●单片扫描式毛刷清洗、二流体清洗、兆声波清洗
●适用于清洗纳米压印基材表面
●适用于母模具表面无损清洗(兆声波清洗)