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GL Spin+HP旋涂匀胶设备+热板
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生产厂家青岛天仁微纳科技有限责任公司成立于2015年,是引新的纳米压印设备和解决方案提供商。公司的核心竞争力是为客户提供纳米压印整体解决方案。产品与服务涵盖纳米压印相关的设备、模具、材料、工艺以及生产咨询服务。我们致力于拓展纳米压印技术在创新产品领域的应用,例如发光二极管(LEDs)、微纳机电系统(MEMs/NEMs)、虚拟现实和增强现实光波导(AR Waveguides)、3D传感、生物芯片、显示以及太阳能等。
GL Spin+HP旋涂匀胶设备+热板主要用于胶体旋涂,烘烤等工艺。
●适用于大300mm直径以下圆片或者9英寸方片旋涂匀胶与烘烤工艺
●大转速5000rpm
●自动供胶系统、EBR、BSR
●气流控制保证旋涂均匀性