起订量:
PLUTO-F 桌面式 等离子体材料表面处理系统
初级会员第5年
生产厂家
外部尺寸641*533*451mm (1341*533*451mm可选底
座)
真空腔尺寸材质6061-T6 铝合金241mm*280mm*201mm
电极尺寸200mm *200mm,多控自适应平板电极
等离子体发
生器
频率:13.56MHz;自动阻抗匹配电源
功率0-200W 连续可调,精度 1W 自适应功率匹配
0-500W连续可调,精度 1W自动阻抗匹配电源
0-750W 连续可调,精度 1W自动阻抗匹配电源
真空计 热电偶真空计0-100KPa
供气2 路气体,精密针阀控制
控制方式4.3 寸触摸屏,多级应用菜单,操控简易快捷
选配件飞越VRD 油泵/莱宝/安捷伦DS 系列干泵
电源220V,10A