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Pluto-MD等离子去胶机

型号
参数
产地类别:国产 应用领域:环保,电子
武汉赛斯特精密仪器有限公司

初级会员5年 

生产厂家

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实验室检测仪器,测试仪器设备等
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  本着“专业品质,专业服务”为宗旨,以“科技、品质、竞争、创新”为理念,通过不断汲取新的技术,新的理念,继续开发研制新产品,并为广大客户提供优质的售前,售中,售后服务。热烈欢迎广大新老朋友业函,来电,莅临我公司参观指导!


 

详细信息

Pluto-MD等离子去胶机

产品介绍 :

去胶工艺是微加工过程中一个重要的过程,在电子束曝光,紫外曝光等微纳米加工工艺后,都要对光刻胶进行去除或打底膜处理。光刻胶是否去除干净对样片是否有损伤等问题,将直接影响后续工艺的顺利完成。PLUTO-MD使用性能出色的组件和软件,可对工艺参数进行精细控制。它的工艺监测和数据采集软件可实现严格的质量控制。该技术已经成功的应用于功率晶体管、模拟器件、传感器、光学器件、光电、EMS/MOEMS、生物器件、LED等领域。

产品性能:

经过真空检漏316不锈钢腔体, 具备更好密封性能和保压能力

5L腔体,双层电极,离子密度可控

13.5EMHz射频等离子源,兼容物理反应和化学反应,覆盖全部样品种类

 

创新可调电极,可以调整有效处理面积中等离子体的能量密度

标配两路气体,适应更多用户需求。

 

Pluto-MD等离子去胶机采用电容触摸屏,全数字控制。

全手动控制和预设工艺参数自动运行

 

Pluto-MD等离子去胶机 产品参数:

 

 

 

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产品参数

产地类别 国产
应用领域 环保,电子
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详询客服 : 0571-87858618
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