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MS450 真空镀膜设备
- 型号
- MS450
该企业相似产品
匀胶机，烤胶机，涂膜机，狭缝涂布机，紫外清洗机，电解双喷仪
江苏雷博科学仪器有限公司2013年9月成立于江苏江阴，是一家初期以高档专业的实验室仪器开发为目标的海归创业企业。2020年8月，江苏雷博科仪通过资源整合，将雷博科仪中发展起来的的工业半导体设备业务分拆出来成立了江苏雷博微电子设备有限公司。两家公司使用同一品牌 ，独立经营不同系列产品。公司主营高档实验室仪器及半导体设备开发业务。公司技术力量雄厚，人才济济，凭借雄厚的技术实力不断进行新产品开发和创新实现，在纳米薄膜制备类仪器领域取得了显著的市场地位。公司生产的高精度高可靠性匀胶机荣获江苏省高新技术产品，是国内匀胶机全系列、多功能、定制化服务的供应商。
公司生产和销售不同领域的高档科研仪器和工业半导体设备：Schwan technology®是我们的纳米薄膜制备类设备品牌，主要有匀胶机、显影机、烤胶机、提拉机、喷胶机、涂膜机、狭缝涂布机等相关产品；LEBO science®是我们的工业半导体设备品牌，主要有匀胶机、显影机、蚀刻机、去胶机、清洗机等独立柜式机台及工业全自动机台。
公司产品被广泛应用于纳米薄膜制备需求的钙钛矿薄膜太阳能、有机光电、MEMS、声表、光通讯、化合物半导体及先进封装等领域，具有核心技术可靠、高性价比、定制化服务的竞争优势。
公司目前团队人数80多人，业绩和规模处于快速扩展期，2013年起年销售额一直保持快速增长，目前正准备二轮融资扩产。公司生产厂房设有装配洁净车间及黄光试验区，其中生产区域约1500平方米，办公及仓储区域约1000平方米。
详细信息
镀膜设备主要功能
镀膜设备是一种用于材料科学领域的科学仪器，能够在微颗粒表面沉积各种金属薄膜(包括磁性金属膜)、金属氧化物薄膜、金属氮化物薄膜及合金薄膜，且所镀薄膜致密、均匀、纯度高、附着力强等。
1.MS450是一台高真空磁控溅射镀膜设备。
2.设备主要由真空室、溅射靶枪、溅射电源、加热样品台、流量控制系统、真空获得系统、真空测量系统、气路系统、PLC+触摸屏自动控制系统等组成。
3.该设备主机与控制一体化设计，操控方便；结构紧凑，占地面积小。
4.主要用途：
1. 开发纳米级单层、多层及复合膜层等。
2. 制备金属膜、合金膜、半导体膜、陶瓷膜及介质膜等，例：银、铝、 铜、镍、铬、镍铬合金、氧化钛、氮化钛、氮化铬、ITO......
3. 两靶单独溅射、依次溅射、共同溅射。
5.应用领域：
1. 高校、科研院所的教学、科研实验及生产型企业前期探索性实验及开发新产品等。
2. 钙钛矿太阳能电池、OLED、OPV 太阳能电池等行业。
操作程序
真空镀膜设备操作程序具体操作时请参照该设备说明书
和设备上仪表盘指针显示及各旋钮下的标注说明。
①检查真空镀膜机各操作控制开关是否在"关"位置。
②打开总电源开关，设备送电。
③低压阀拉出。开充气阀，听不到气流声后，启动升钟罩阀，钟罩升起。
④安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位，保证无任何杂质污物。
⑤落下钟罩。
⑥启动抽真空机械泵。
⑦开复合真空计电源(复合真空计型号：Fzh-1A)。
a.左旋钮“1”顺时针旋转至指向2区段的加热位置。
b.低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至110mA时，左旋钮"1"旋转至指向2区段测量位置。
⑧当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6.7Pa时，低压阀推入。这时左旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。
⑨真空镀膜机开通冷却水，启动扩散泵，加热40min。
⑩低压阀拉出。重复一次⑦动作程序：左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置。低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至6.7Pa时，开高压阀(阀杆顺时针旋转)。
⑪等低真空表“2”内指针右移动至0.1Pa时，开规管灯丝开关。
a.发射、零点测量钮“9”旋转至指向发射位置。
b.左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。
⑫旋转发射调节钮“4”，使高压真空表“5”内指针指向5。
⑬发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向零点位置。
⑭旋转零点调节钮“10”，让高压真空表“5”内指针指向0位置。
⑮发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向测量位置。
⑯旋转标准调节钮“3”，让高压真空表“5”内指针指向10。
⑰旋转“倍加器”开关钮“8”至指向10-12，当高压真空表“5”内指针逆时针左移超过1时，再把“倍加器”开关旋钮“8”旋转至指向10-3。
⑱当高压真空表“5”内指针逆时针移动超过6.7Pa时，开工件旋转钮开关，钟罩内被镀件PVDF膜转动。
⑲开蒸发钮开关。把电流分插塞插入蒸发电极分配孔内(设有1、2、3、4孔，可插入任意一孔)。
⑳右手旋转右侧调压器手轮，慢慢旋转升压。
a.从视镜窗口观察钨螺旋加热子的加热温度颜色变化情况。
b.当钨螺旋加热子颜色变成黄橙色，铝丝开始熔化时，左手操作挡板钮，移开钨螺旋上方挡板。
c.铝丝全部熔化蒸发，挡板回原位。
d.右手旋转调压器手轮回零位。第一次蒸镀工作完成。
21.如果再想蒸镀一次(为了增加电极金属层厚度)：把电流分插塞拨出插入另一个电极分配孔。重复⑳操作动作。
22.关闭规管灯丝开关。关闭高压阀(逆时针转手柄)。关闭工件旋转。关闭蒸发。旋转机械泵钮至指向扩散泵位置。
23.低压阀拉出。钟罩充气。充气一段时间，当没有气.声时，升钟罩。
24.钨螺旋加热子内加铝丝。PVDF薄膜调换另一面向下(原下面已镀一层铝膜面向上)。紧固在转动圆盘上。
25.落钟罩。开机械泵。
a.左下旋钮“1”旋转至指向2区段测量位置。
b.当低压真空表“2”内指针顺时针移动到6.7Pa时，低压阀推入。
c.左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。
d.当低压真空表“2”内指针顺时针移动到6.7Pa时，开高压阀。旋钮“1”旋转至指向2区段测量位置。
e.当低压真空表“2”内指针顺时针移动到指向0.1Pa时，开规管灯丝。
f.由⑰开始重复操作至⑳。
26.PVDF薄膜蒸镀完铝层后，按顺序关闭规管灯丝、高压阀、机械泵、扩散泵。把低压阀拉出。钟罩充气，充气完毕后升钟罩。取出工件，做好钟罩内清理工作。
a.落下钟罩。
b.开机械泵，抽3~5min，停机械泵。
c.切断供电总开关。
d.1h后再关闭冷却水。操作全部完成。
27.正常生产中，如遇到突然停电时，要立即切断高真空测量，关闭规管灯丝，高压阀、低压阀拉出。来电后，先让机械泵启动工作3~5min后，再转入正常生产。
