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MS450 磁控溅射镀膜设备
- 型号
- MS450
该企业相似产品
匀胶机，烤胶机，涂膜机，狭缝涂布机，紫外清洗机，电解双喷仪
江苏雷博科学仪器有限公司2013年9月成立于江苏江阴，是一家初期以高档专业的实验室仪器开发为目标的海归创业企业。2020年8月，江苏雷博科仪通过资源整合，将雷博科仪中发展起来的的工业半导体设备业务分拆出来成立了江苏雷博微电子设备有限公司。两家公司使用同一品牌 ，独立经营不同系列产品。公司主营高档实验室仪器及半导体设备开发业务。公司技术力量雄厚，人才济济，凭借雄厚的技术实力不断进行新产品开发和创新实现，在纳米薄膜制备类仪器领域取得了显著的市场地位。公司生产的高精度高可靠性匀胶机荣获江苏省高新技术产品，是国内匀胶机全系列、多功能、定制化服务的供应商。
公司生产和销售不同领域的高档科研仪器和工业半导体设备：Schwan technology®是我们的纳米薄膜制备类设备品牌，主要有匀胶机、显影机、烤胶机、提拉机、喷胶机、涂膜机、狭缝涂布机等相关产品；LEBO science®是我们的工业半导体设备品牌，主要有匀胶机、显影机、蚀刻机、去胶机、清洗机等独立柜式机台及工业全自动机台。
公司产品被广泛应用于纳米薄膜制备需求的钙钛矿薄膜太阳能、有机光电、MEMS、声表、光通讯、化合物半导体及先进封装等领域，具有核心技术可靠、高性价比、定制化服务的竞争优势。
公司目前团队人数80多人，业绩和规模处于快速扩展期，2013年起年销售额一直保持快速增长，目前正准备二轮融资扩产。公司生产厂房设有装配洁净车间及黄光试验区，其中生产区域约1500平方米，办公及仓储区域约1000平方米。
详细信息
磁控溅射镀膜设备是一种先进的物理气相沉积(PVD)技术，其核心在于利用溅射效应将靶材原子转移到基材表面，从而形成薄膜。溅射效应是指当高能离子撞击固体表面时，靶材表面原子被击出并散射的现象。
在磁控溅射过程中，首先在真空腔体中引入惰性气体(通常是氩气)。当高压电场作用于气体时，氩气被电离形成等离子体，这种等离子体由带正电的离子和自由电子组成。等离子体中的高能氩离子在电场的加速下撞击靶材表面，导致靶材原子被溅射出来。这些溅射出的原子随后沉积在基材上，逐层形成所需的薄膜。
1.MS450是一台高真空磁控溅射镀膜设备。
2.设备主要由真空室、溅射靶枪、溅射电源、加热样品台、流量控制系统、真空获得系统、真空测量系统、气路系统、PLC+触摸屏自动控制系统等组成。
3.该设备主机与控制一体化设计，操控方便；结构紧凑，占地面积小。
4.主要用途：
1. 开发纳米级单层、多层及复合膜层等。
2. 制备金属膜、合金膜、半导体膜、陶瓷膜及介质膜等，例：银、铝、 铜、镍、铬、镍铬合金、氧化钛、氮化钛、氮化铬、ITO......
3. 两靶单独溅射、依次溅射、共同溅射。
5.应用领域：
1. 高校、科研院所的教学、科研实验及生产型企业前期探索性实验及开发新产品等。
2. 钙钛矿太阳能电池、OLED、OPV 太阳能电池等行业。
