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MS450 小型镀膜设备
- 型号
- MS450
该企业相似产品
匀胶机，烤胶机，涂膜机，狭缝涂布机，紫外清洗机，电解双喷仪
江苏雷博科学仪器有限公司2013年9月成立于江苏江阴，是一家初期以高档专业的实验室仪器开发为目标的海归创业企业。2020年8月，江苏雷博科仪通过资源整合，将雷博科仪中发展起来的的工业半导体设备业务分拆出来成立了江苏雷博微电子设备有限公司。两家公司使用同一品牌 ，独立经营不同系列产品。公司主营高档实验室仪器及半导体设备开发业务。公司技术力量雄厚，人才济济，凭借雄厚的技术实力不断进行新产品开发和创新实现，在纳米薄膜制备类仪器领域取得了显著的市场地位。公司生产的高精度高可靠性匀胶机荣获江苏省高新技术产品，是国内匀胶机全系列、多功能、定制化服务的供应商。
公司生产和销售不同领域的高档科研仪器和工业半导体设备：Schwan technology®是我们的纳米薄膜制备类设备品牌，主要有匀胶机、显影机、烤胶机、提拉机、喷胶机、涂膜机、狭缝涂布机等相关产品；LEBO science®是我们的工业半导体设备品牌，主要有匀胶机、显影机、蚀刻机、去胶机、清洗机等独立柜式机台及工业全自动机台。
公司产品被广泛应用于纳米薄膜制备需求的钙钛矿薄膜太阳能、有机光电、MEMS、声表、光通讯、化合物半导体及先进封装等领域，具有核心技术可靠、高性价比、定制化服务的竞争优势。
公司目前团队人数80多人，业绩和规模处于快速扩展期，2013年起年销售额一直保持快速增长，目前正准备二轮融资扩产。公司生产厂房设有装配洁净车间及黄光试验区，其中生产区域约1500平方米，办公及仓储区域约1000平方米。
详细信息
小型镀膜设备是为扫描电镜和电子探针等进行试样制备的设备，可进行真空蒸碳、真空镀膜和离子溅射，它也可以在高纯氩气的保护之下进行多种离子处理。用本设备处理的试样既可用于样品的外貌观察又可以进行成分分析，尤其是成分的定量分析更为适宜。本仪器配有机械泵、分子泵，分子泵系统特别适用于对真空度要求高、真空环境好的用户选用。
1.MS450是一台高真空磁控溅射镀膜设备。
2.设备主要由真空室、溅射靶枪、溅射电源、加热样品台、流量控制系统、真空获得系统、真空测量系统、气路系统、PLC+触摸屏自动控制系统等组成。
3.该设备主机与控制一体化设计，操控方便；结构紧凑，占地面积小。
4.主要用途：
1. 开发纳米级单层、多层及复合膜层等。
2. 制备金属膜、合金膜、半导体膜、陶瓷膜及介质膜等，例：银、铝、 铜、镍、铬、镍铬合金、氧化钛、氮化钛、氮化铬、ITO......
3. 两靶单独溅射、依次溅射、共同溅射。
5.应用领域：
1. 高校、科研院所的教学、科研实验及生产型企业前期探索性实验及开发新产品等。
2. 钙钛矿太阳能电池、OLED、OPV 太阳能电池等行业。
薄膜均匀性概念：
1、厚度上的均匀性，也可以理解为粗糙度，在光学薄膜的尺度上看(也就是1/10波长作为单位，约为100A)，真空镀膜的均匀性已经相当好，可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内，也就是说对于薄膜的光学特性来说，真空镀膜没有任何障碍。 但是如果是指原子层尺度上的均匀度，也就是说要实现10A甚至1A的表面平整。
2、化学组分上的均匀性： 就是说在薄膜中，化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性，SiTiO3薄膜，如果镀膜过程不科学，那么实际表面的组分并不是SiTiO3，而可能是其他的比例，镀的膜并非是想要的膜的化学成分，这也是真空镀膜的技术含量所在。
3、晶格有序度的均匀性： 这决定了薄膜是单晶，多晶，非晶，是真空镀膜技术中的热点问题。
