BAG552热电离真空计
- 型号
该企业相似产品
杭州太昊科技有限公司是INFICON的授权代理商，专业销售INFICON旗下的真空产品及设备，同时致力于先进真空技术的推广和应用，为广大用户改进生产工艺，提升竞争力提供产品服务和技术支持。
目前，公司所经营的产品主要有三大类： 一、膜厚控制/监测系统，产品包括膜厚控制仪、膜厚监测仪、传感器探头、振荡器及坩埚控制仪等；二、气体检漏/分析系统，产品有氦质谱检漏仪、冷媒检漏仪、四极质谱仪（即残余气体分析仪）及其他类型检漏仪；三、真空监测/控制系统，产品主要包括：真空规、压强控制仪、质量流量计、真空阀门、真空密封件等；产品应用覆盖光电技术、太阳能薄膜、半导体制造、照明电器、空调制冷、科研、航天、汽车制造等众多行业和领域。公司本着“积极进取、开拓创新”的精神，不断提升专业技能、完善运营细节，兢兢业业、勤勤恳恳，旨在为广大用户提供更好的真空技术支持和更加完善的售后服务。
我们的理念是“完善自我，携手用户，精诚合作，共同进步”。我们以我们的诚信和服务赢得用户的肯定和信任，以客户的肯定和信任作为我们孜孜以求的动力和目标，期待更多新老朋友来电来函咨询业务，洽谈合作！
详细信息
BAG552热电离真空计专为压力范围为 5 × 10-10 ... 2 x 10-2 毫巴的气体真空测量而设计。支持双灯丝，具有出色的精度、可重复性和使用寿命。BAG552 还可与 INFICON 真空计控制器系列 VGC501、VGC502 和 VGC503 配合使用。
优势
1，纯粹的 Bayard-Alpert 测量系统，适用于超高压和高压测量范围
2，双灯丝设计
3，电隔离电子设备，避免杂散电流
4，滑动发射模式，避免在切换发射流时出现压力跳跃和冻结现象
5，可移动校准数据芯片，延长了烘烤时间
6，设定点继电器
7，明亮大屏幕 OLED 显示屏（可 90° 旋转），带用户界面
8，模拟输出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口
9，可与 VGC50x 控制器系列配合使用
10，符合 RoHS 规范
典型应用
半导体工艺中的压力测量
工业镀膜
高真空至超高真空范围内系统的一般真空测量和控制
测量范围 ：(气, O2, CO, N2) 5 × 10-10 … 2 × 10-2 mbar
准确度 ：1 × 10-8 … 2 × 10-2 mbar ±15% 读数
可重复性： 5% 读数, 10-8 … 2 × 10-2 mbar (稳定 10 分钟后）
暴露在真空中的材料 不锈钢、镍铁合金、镀镍、哈氏合金、玻璃、铱、氧化钇 (Y2O3)、镍、钨
BAG552热电离真空计
