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BPG552 ATM至超高真空双真空计
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杭州太昊科技有限公司是INFICON的授权代理商，专业销售INFICON旗下的真空产品及设备，同时致力于先进真空技术的推广和应用，为广大用户改进生产工艺，提升竞争力提供产品服务和技术支持。
目前，公司所经营的产品主要有三大类： 一、膜厚控制/监测系统，产品包括膜厚控制仪、膜厚监测仪、传感器探头、振荡器及坩埚控制仪等；二、气体检漏/分析系统，产品有氦质谱检漏仪、冷媒检漏仪、四极质谱仪（即残余气体分析仪）及其他类型检漏仪；三、真空监测/控制系统，产品主要包括：真空规、压强控制仪、质量流量计、真空阀门、真空密封件等；产品应用覆盖光电技术、太阳能薄膜、半导体制造、照明电器、空调制冷、科研、航天、汽车制造等众多行业和领域。公司本着“积极进取、开拓创新”的精神，不断提升专业技能、完善运营细节，兢兢业业、勤勤恳恳，旨在为广大用户提供更好的真空技术支持和更加完善的售后服务。
我们的理念是“完善自我，携手用户，精诚合作，共同进步”。我们以我们的诚信和服务赢得用户的肯定和信任，以客户的肯定和信任作为我们孜孜以求的动力和目标，期待更多新老朋友来电来函咨询业务，洽谈合作！
详细信息
BPG552 ATM至超高真空双真空计
对于测量范围要求从 UHV (5 x10-10) 到 ATM (1000 mbar) 的应用，Trigon™ 系列包括双技术 BPG552 真空计。BPG552 由一个 Bayard-Alpert 热电离传感器元件和一个经典、坚固、可靠的皮拉尼传感器元件组成。支持的 Bayard-Alpert 双丝提供了超卓的精度、可重复性和使用寿命。
优势
1，双测量仪（2 个传感元件），测量范围宽，降低成本，节省空间
2，用于 Bayard-Alpert 系统的 2 根灯丝
3，皮拉尼互锁保护，避免灯丝过早烧毁
4，自动高真空皮拉尼调节，减少操作员干预
5，电隔离电子元件，避免杂散电流
6，滑动排放模式，避免切换排放流时出现压力跳跃和冻结现象
7，可移动的校准数据芯片延长了烘烤时间
8，设定点继电器
9，明亮大屏幕 OLED 显示屏（可 90° 旋转），带用户界面
10，模拟输出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口
11，可与 VGC50x 控制器系列配合使用
12，向后兼容 BPG402
13，符合 RoHS 规范
典型应用
半导体工艺中的压力测量
工业镀膜
低真空到超高真空范围内系统的一般真空测量和控制 超高真空范围
测量范围（空气、O2、CO、N2） 5 × 10-10 … 1000 mbar
准确性 1 × 10-8 … 1 x 10-2 mbar 读数的 ±15
1 x 10-2 mbar … 1000 mbar 读数的 ±30
重复性 读数的 5%，10-8 ... 10-2 毫巴（稳定 10 分钟后）
暴露在真空中的材料 不锈钢、镍铁合金、镀镍、哈氏合金、玻璃、铱、氧化钇 (Y2O3)、镍、钨
BPG552 ATM至超高真空双真空计
