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SEM冷冻真空传输系统
高级会员第2年
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SEM冷冻真空传输系统示意图
SEM冷冻真空传输系统参数
•独立控制系统
•独立真空系统
•高匹配360°(无限)旋转冷台
•冷台倾转角度>55°
•冷台温度≤180℃
•冷台降低温时间:≤30min
•冷阱温度≤l90℃
•冷阱降低温时间:≤l5min
•冷台、冷阱设计烘烤功能
•烘烤温度:80℃
•提供定制化样品梭服务
360°旋转冷台
功能:用于装载样品梭及提供低温保护
参数
•旋转角度:0-360°
•控温范围:-180℃~80℃
•控温精度:≤土0.1℃
•降温速度:≤30min
冷阱
功能:低温保护、吸附污染物
参数
•控温范围:≤-190℃
•控温精度:≤士0.5℃
•降温速度:≤15min
真空转移腔
功能:用于样品的真空转移
参数
•可实现手套箱-FIB真空相互转移
•可实现液氮内样品-FIB冷冻制样真空转移
真空过度仓
功能:实现样品到电镜的真空过度转移
参数
•操作快速
•便捷独立真空系统
•匹配电镜真空
低温系统
功能:用于为冷台、冷阱提供冷源
参数
•液氮容积35L
•持续工作时间>8h
•设计不停机添加液氮端囗
控制系统
功能:用于系统的控制、集成和交互
参数
•温度显示及控制
•真空系统集成与控制
•选配液氮工作站,可满足样品的冷进冷出需求