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泽攸透射电镜原位MEMS低温电学测量系统
高级会员第2年
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泽攸透射电镜原位MEMS低温电学测量系统,是在标配MEMS芯片样品杆上集成低温控制模块,实现低温电学测量或全温区测量功能。
泽攸透射电镜原位MEMS低温电学测量系统,是在标配MEMS芯片样品杆上集成低温控制模块,实现低温电学测量或全温区测量功能。
性能指标
透射电子显微镜指标:
● 兼容指*型号电镜及极靴;
● 单倾可选高倾角版本;
● 可选双倾版本,β角倾转±25°(同时受限于极靴);
● 测量电极数可选。
电学测量指标:
● 包含一个电流电压测试单元;
● 电压输出最大±200 V,最小±100 nV;
● 电流测量最大±1.5 A,最小100 fA;
● 恒压或者恒流模式;
● 自动电流-电压(I-V)测量、电流-时间(I-t)测量,自动保存。
低温指标:
● 兼容MEMS加热及电学芯片;
● 全温区测量,温度范围:85 K- 380 K;
● 控温稳定性:优于±0.1 K;
● 温度连续可控。