AIM-M 武汉半导体芯片晶圆明暗场金相测量显微镜
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生产厂家武汉易测精密仪器设备有限公司成立于2010年,是一家专注于精密制造行业零部件、装备精密测量和检测设备研发、定制、销售的专业科技机构,以“科技改变生活,让测量更简单”为理念,聚焦工件外形测量仪器、自动化快速检测等应用和科技领域。公司注重品牌意识,强化品牌管理,以 “易之测”叫响市场,多次亮各地展会成绩斐然。
本公司位于东湖高新展厅面积约200平方米,展示设备包括影像测量仪、全自动二次元影像测量仪、半自动二次元测量仪、高精度影像测量仪、视频测量显微镜、工具测量显微镜、金相显微镜等等,设备总价值约300万元。可为客户提供前期打样、售后培训、维修备件、有偿测量检测服务等内容。
10多年的技术沉淀,易测团队一直致力于工件外形测量和检测科技的研发与创新,能够满足不同行业客 户在不同场景下的多元化检测需求。各种需求人员可以通过我们了解检测技术和专业知识,以便能够提升产品品质和生产效率。
易测测量设备广泛运用在半导体、芯片制造、新能源汽车、航天航空、3C电子、科研院所等行业,已经服务超百家国内外企业。
武汉半导体芯片晶圆明暗场金相测量显微镜性能
1.光学部件均经过特殊处理并镀有特殊膜层
2.大平台半导体检查显微镜,其微分干涉效果可与进口品牌相媲美
3.大平台半导体检查显微镜机型采用全新设计的长工作距物镜、半复消色差技术,多层宽带镀膜技术。
4.各种观察方法下都能得到清晰锐利与高对比度的显微图像
5.多种高度功能化的附件,能满足半导体检查各种场景需要。
武汉半导体芯片晶圆明暗场金相测量显微镜产品参数
1.物镜参数
名称 | 倍率 | 数值孔径 | 工作距离 |
45mm 明暗场物镜 | 5X | 0.15 | 14.8mm |
10X | 0.30 | 8.5mm | |
20X | 0.45 | 11.9mm | |
50X | 0.75 | 3.0mm | |
100X | 0.80 | 3.0mm |
2.目视系统
◆物镜放大倍数:五孔旋转器,标配5X、10X、20X、50X明暗场无限远半复消色差金相物镜(可选配100X)
标配手动鼻轮(可选配电动鼻轮)
◆目镜放大倍数:10X( 单、双目同,PL10X25mm)
◆总放大倍数: 50X-500X(包括畸变在内的)
5孔编码型明暗场物镜转换器(带DIC插槽),
编码型物镜转换器将显微镜的硬件设置与欧米特图像分析软件整合在一起。屏幕上显示物镜的放大倍率,同时切换倍率时也能自动调整软件中记录的校准值,杜绝忘记切换软件倍率造成的测量错误。
3.影像系统
◆摄像机接口:C型接口,可调焦
◆CCD:630万高清数字相机(自带软件可显示影像视窗及二维尺寸量测)
◆综合影像最大放大倍数:1000X以上
使用注意事项:
1.在松开每个锁紧螺丝时,必须用手托住相应部分,以免其坠落和受冲击。
2.注意防止回程误差,由于螺丝和螺母不可能密合,螺旋转动方向改变时,它的接触状态也改变,两次读数将不同,由此产生的误差叫回程误差。为防止此误差,测量时应向同一方向转动,使十字线和目标对准,若移动十字线超过了目标,就要多退回一些,重新再向同一方向转动。