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激光 分子束外延系统
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北京瑞科中仪科技有限公司长期代理销售供应多种分子材料的研究分析设备,其中包括但不限于扫描电子显微镜、感应耦合等离子体化学气相沉积系统、离子束刻蚀机、等离子清洗机、物理气相沉积系统以及各品牌的光学显微镜以及实验室设备仪器。
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激光 分子束外延系统是一种用于物理学、材料科学领域的工艺试验仪器,综合了脉冲激光沉积和分子束外延的特点和优势。它能在高真空、真空条件下实现原位实时监控薄膜原子尺度层状外延生长。这一系统适用于多种有机、无机薄膜的制备,尤其适宜于用其它制膜设备和方法难以制备的高熔点、多元素(特别是含有气体元素时)、复杂层状结构的薄膜和超晶格的制备。此外,它还可以同时进行激光与物质相互作用及成膜过程的物理、化学观测,为探索、开发新材料、新器件及相关基础研究提供了一个强有力的平台。
以上内容仅供参考,如需更多信息,可咨询激光分子束外延系统方面的专家。激光分子束外延系统的核心部分是激光脉冲沉积系统,该系统使用高能量的脉冲激光束照射靶材,使靶材表面瞬间达到高温高压状态,进而蒸发、离化靶材原子或分子,形成高温、高密度的等离子体羽辉。这些离子、原子或分子在羽辉中迅速冷却并定向传输到基片表面,最终沉积形成薄膜。
激光 分子束外延系统的另一个重要组成部分是超高真空系统,该系统能够在生长过程中保持真空度,有效防止杂质和污染物对薄膜生长的影响。同时,该系统还配备了多种原位监测和表征手段,如反射式高能电子衍射仪(RHEED)、光学显微镜、椭偏仪等,可以对薄膜生长过程进行实时监控和精确控制。
此外,激光分子束外延系统还具有高度的灵活性和可扩展性。通过改变靶材和基片的种类,以及调整激光参数和生长条件,可以制备出各种不同类型、不同性能的薄膜材料。同时,该系统还可以与其他先进的实验设备和技术相结合,如原子力显微镜(AFM)、扫描隧道显微镜(STM)等,以进一步探索薄膜材料的物理和化学性质。
总之,激光分子束外延系统是一种功能强大、应用广泛的薄膜制备技术,它在材料科学、物理学、电子学等领域的研究和应用中发挥着重要作用。随着科学技术的不断发展,激光分子束外延系统将在更多领域展现出的优势和潜力。
腔体尺寸 | 球形腔体,直径:400 mm |
样品尺寸 | 1 英寸或 2 英寸向下兼容 |
样品加热 | 辐射式加热 / 电阻式加热 / 激光加热 1000 ℃ / 950 ℃ / 1400 ℃ |
RHEED | 两级差分,30 kV |
靶台操控 | 6 靶位,1 英寸靶托,公自转设计 |
抽气泵组 | 进口:Pfeiffer分子泵,685 l/s Leybold干泵,14.5 m3/h |
气路 | 进口:质量流量计MKS,50 / 100 sccm |
控压方式 | 手动角阀/漏阀控压 |
极限真空 | 5 x 10-9 mbar |
光路支架 | 可根据用户现场定制 |
软件控制 | 动作程序控制,软件编程控制工艺,设备全套互锁 |