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Satur系列 多片式MOCVD系统
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- Satur系列
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
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公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
1. 产品概述
Satur系列 多片式MOCVD系统，优异的均匀性、一致性、稳定性控制，MOCVD 即金属有机物化学气相沉积，是一种用于生长化合物半导体薄膜的技术。它通过将Ⅲ族元素的有机化合物和氨气或氧气等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。
2. 设备用途/原理
Satur系列 多片式MOCVD系统，优异的均匀性、一致性、稳定性控制，盒对盒全自动传输系统，优良的实时监控系统，友好界面与配方编辑功能，满足 SEMI S2 安全标准。
3. 设备特点
晶圆尺寸 4、6、8 英寸，沉积材料 氮化镓、砷化镓、磷化铟。适用材料 硅、碳化硅、氧化铝、砷化镓、磷化铟。适用领域 科研、集成电路、化合物半导体。
