参考价：¥10万-50万
WTS-0421 晶圆电阻测量仪
四探针晶圆电阻测量仪，芯片焊线机
湖南瓦特颂半导体有限公司主要从事半导体芯片晶圆测试设备和芯片封装设备的研发，制造，销售及技术应用服务；目前包括有四探针电阻测试设备，高温和低温电阻测试设备，芯片固晶贴装设备，芯片键合焊线设备，定制工作台，焊线机的工作台， 固晶机工作台， 线弧AOI 3D三维检测设备，精密测试探头及模块，芯片焊线劈刀及配套精密工具，键合用的邦定线，芯片封装用的高温焊材料等。
详细信息
设备基本参数
1．方阻测量范围：1x10E-6ohm/sq~5x10E6ohm/sq
2．四探针探头测量金属类型：铝 / 钛 / 镍钒 / 金 / 铜 等金属
3．四探针探头测量金属厚度：100A～10μm
4．四探针系统电流量程：1μA , 10μA , 100μA , 1mA , 10mA , 50mA , 500mA 七档
5．四探针标准晶圆方阻重复性：1，≤±0.1%（同点静态测量）2，≤±0.2% （动态多点测量）
6．四探针标准晶圆测量精度：≤±1%（典型晶圆）
7．量测区域：以探针头的中心到晶圆的边缘距离3mm
8．测试图形：1，极地图形（在对位晶圆的notch) 2，矩形图形（无效边缘排除以外进行选择） 3，直线扫描（可以是直径，半径或沿直径的点到点，最小距离0.1mm) 4，用户自定义（使用模板）
9．测量图形表示：可以为轮廓图，3D图，water上显示的数据图数据表示
10．探针自清洁功能：陶瓷片清洁
11．所有设备测量的数据文件可以被导入到Excel，Word文档，工作站等，数据图形可以合并
