英国VacCoat手套箱用溅射镀膜机热蒸发器 DST2-TG 特点介绍

DST2-TG 是一款双靶涡轮泵溅射镀膜机，配有供手套箱使用的热蒸发器，是一种多真空镀膜机系统，

将热蒸发器和溅射镀膜机结合在一个紧凑的桌面系统中，并通过 Wi-Fi 连接进行远程系统控制，可通过触摸屏和PC控制。

高真空系统适用 于多种材料的沉积。双磁控靶台式溅射镀膜机可以在 蒸发 和 溅射沉积之间轻松切换 ，以制备多层涂层。

英国VacCoat手套箱用溅射镀膜机热蒸发器 DST2-TG 规格参数

DST2-TG磁控台式溅射镀膜机是高精度半/全自动真空镀膜系统，配备大室（直径300毫米）和两个2英寸直径水冷阴极，适合长时间沉积。该系统是用于溅射、碳纤维和金属蒸发的单一平台。磁控台式溅射镀膜机可以溅射半导体、电介质和金属靶材。溅射阴极和热蒸发船可以安装在一起或互换安装，总共可以使用三个沉积源

双级旋片前级泵

高真空内置涡轮泵90 l/s

全量程真空计

大室（直径 300 毫米，高度 20-25 厘米）适合大型样品沉积

电动升降臂可在真空室中上下移动

两个 2” 水冷溅射阴极

两个石英晶体传感器（精度 1 纳米），用于实时厚度测量

安装在手套箱上的 KF40 馈通件，用于电源（直流、射频和高电流 (HC)）、真空泵软管、水冷却和氩气/反应气体连接以及电气连接

两个精密质量流量计 (MFC)，用于精细控制真空和压力

电子百叶窗

阴极选择电机